一种光刻胶回收过滤结构的制作方法
本技术涉及光刻胶，具体为一种光刻胶回收过滤结构。
背景技术：
1、光刻胶是一种光致抗蚀剂，一般通过紫外光、电子束等的照射或辐射的方式完成加工，在光刻工艺的过程中，光刻胶是一种抗腐蚀涂层材料，在半导体材料的表面进行加工时，选用适当的光刻胶，可以在表面得到所需的图像，在光刻胶回收时，需要对光刻胶进行过滤。
2、例如授权公告号为cn219209131u的一种光刻胶生产回收结构，包括主体机构、回收机构和清扫机构，所述回收机构位于主体机构的内部，所述清扫机构位于回收机构的上方，虽然上述文件能够实现便于将附着在过滤板上的污染物清除，解决污染物堵塞过滤板的情况，减少更换过滤板的频率，但是在使用时，该过滤装置在对回收的光刻胶进行过滤的过程当中，通过过滤板对光刻胶进行过滤，由于光刻胶具有一定的黏性，导致光刻胶的流动性比较差，在过滤时，过滤板上的光刻胶需要较长的时间才能滴落下来，完成过滤，造成光刻胶的过滤时间长，从而降低了该过滤装置对光刻胶的过滤效率；同时该过滤装置在对光刻胶进行过滤的时候，需要毛刷来对过滤板表面进行清理，将过滤板表面的杂质清理下来，由于毛刷无法完全的进入到过滤板的内部，将过滤板内部的杂质清理下来，导致过滤板的清理不彻底，长时间后造成过滤板大面积堵塞，从而降低了该过滤装置的过滤效果。
技术实现思路
1、本实用新型的目的是为了解决降低了该过滤装置对光刻胶的过滤效率和降低了该过滤装置的过滤效果问题，而提出的一种光刻胶回收过滤结构。
2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
3、设计一种光刻胶回收过滤结构，包括过滤箱和箱盖，所述过滤箱的顶部安装有箱盖，所述箱盖与进液管相连接，所述过滤箱的底部固接有支撑腿，所述过滤箱的内部放置有回收槽，所述过滤箱的外部安装有拉门，所述过滤箱的外壁固接有支撑柱，所述过滤箱的外部设有过滤装置，所述过滤箱的内部设有拆卸装置。
4、优选的，所述过滤装置包括电机和转盘，所述电机通过电机套固接在过滤箱的外壁上，所述电机的输出轴固接有转盘，所述转盘的表面与圆柱固定连接，所述圆柱与立柱的内部滑动相连接，所述立柱的端部固接有不完全齿轮，所述不完全齿轮与齿条相啮合。
5、优选的，所述齿条的端部与曲板的外壁固定相连接，所述齿条与过滤箱的内部滑动相连接。
6、优选的，所述支撑柱与销轴转动连接，所述立柱固接在销轴的外壁。
7、优选的，所述拆卸装置包括转钮和螺纹柱，所述转钮固接在螺纹柱的端部，所述螺纹柱通过轴承与曲板转动连接，所述螺纹柱与螺纹块螺纹连接，所述螺纹块与曲板的内部滑动连接，所述螺纹块的外壁固接有横柱。
8、优选的，所述横柱的表面固接有卡块，所述卡块与过滤框间隙配合，所述过滤箱与曲板相贴合。
9、本实用新型提出的一种光刻胶回收过滤结构，有益效果在于：通过过滤装置中的电机带动转盘转动，转盘带动圆柱转动，圆柱带动立柱以销轴为圆心进行摆动，立柱带动不完全齿轮转动，不完全齿轮带动齿条移动，齿条在过滤箱中滑动，齿条带动曲板移动，曲板带动过滤框进行左右晃动，来对光刻胶进行快速过滤，设置该过滤装置在对回收的光刻胶进行过滤时，通过使过滤框进行晃动，加快光刻胶的过滤速度，提高了该过滤装置对光刻胶的过滤效率。
10、通过拆卸装置中的转钮带动螺纹柱转动，螺纹柱带动螺纹块移动，螺纹块在曲板中滑动，螺纹块带动横柱移动，横柱带动卡块离开过滤框的内部，将其拆卸下来进行清理，设置该过滤装置在对光刻胶进行过滤时，通过将过滤框拆卸下来，对其进行清理，清理的彻底，提高了该过滤装置的过滤效果。
技术特征：
1.一种光刻胶回收过滤结构，包括过滤箱(1)和箱盖(2)，所述过滤箱(1)的顶部安装有箱盖(2)，其特征在于：所述箱盖(2)与进液管(3)相连接，所述过滤箱(1)的底部固接有支撑腿(5)，所述过滤箱(1)的内部放置有回收槽(4)，所述过滤箱(1)的外部安装有拉门(11)，所述过滤箱(1)的外壁固接有支撑柱(12)，所述过滤箱(1)的外部设有过滤装置(6)，所述过滤箱(1)的内部设有拆卸装置(8)。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶回收过滤结构，其特征在于：所述过滤装置(6)包括电机(601)和转盘(602)，所述电机(601)通过电机套固接在过滤箱(1)的外壁上，所述电机(601)的输出轴固接有转盘(602)，所述转盘(602)的表面与圆柱(603)固定连接，所述圆柱(603)与立柱(604)的内部滑动相连接，所述立柱(604)的端部固接有不完全齿轮(605)，所述不完全齿轮(605)与齿条(606)相啮合。
3.根据权利要求2所述的一种光刻胶回收过滤结构，其特征在于：所述齿条(606)的端部与曲板(7)的外壁固定相连接，所述齿条(606)与过滤箱(1)的内部滑动相连接。
4.根据权利要求2所述的一种光刻胶回收过滤结构，其特征在于：所述支撑柱(12)与销轴转动连接，所述立柱(604)固接在销轴的外壁上。
5.根据权利要求1所述的一种光刻胶回收过滤结构，其特征在于：所述拆卸装置(8)包括转钮(801)和螺纹柱(802)，所述转钮(801)固接在螺纹柱(802)的端部，所述螺纹柱(802)通过轴承与曲板(7)转动连接，所述螺纹柱(802)与螺纹块(803)螺纹连接，所述螺纹块(803)与曲板(7)的内部滑动连接，所述螺纹块(803)的外壁固接有横柱(804)。
6.根据权利要求5所述的一种光刻胶回收过滤结构，其特征在于：所述横柱(804)的表面固接有卡块(9)，所述卡块(9)与过滤框(10)间隙配合，所述过滤箱(1)与曲板(7)相贴合。
技术总结
本技术涉及光刻胶技术领域，尤其是一种光刻胶回收过滤结构，包括过滤箱和箱盖，所述过滤箱的顶部安装有箱盖，所述箱盖与进液管相连接，所述过滤箱的底部固接有支撑腿，所述过滤箱的内部放置有回收槽。通过过滤装置中的电机带动转盘转动，转盘带动圆柱转动，圆柱带动立柱以销轴为圆心进行摆动，立柱带动不完全齿轮转动，不完全齿轮带动齿条移动，齿条在过滤箱中滑动，齿条带动曲板移动，曲板带动过滤框进行左右晃动，来对光刻胶进行快速过滤，设置该过滤装置在对回收的光刻胶进行过滤时，通过使过滤框进行晃动，加快光刻胶的过滤速度，提高了该过滤装置对光刻胶的过滤效率。
技术研发人员：江波,王悦辉,林凯文,林建辉
受保护的技术使用者：江门市和盈新材料科技有限公司
技术研发日：20240218
技术公布日：2024/9/23