具有旋转结构的喷涂装置的制作方法

本技术涉及石英坩埚生产，具体为具有旋转结构的喷涂装置。

背景技术：

1、石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛。石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节，而且石英坩埚的检测朝向现场检测方向发展，可在1450度以下使用，分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。

2、石英坩埚涂层种类及特点：1.金属涂层：是一种常见的涂层种类，可以防止石英坩埚表面产生化学反应而导致实验失败，同时能够使实验物质均匀加热；2.石墨涂层：石墨涂层主要由石墨粉、有机胶和溶液混合而成，被广泛应用于化学实验室中的高温熔融试验中；3.亚克力涂层：亚克力涂层是化学实验室中一种环保型、中性的涂层材料，主要成分是多烯烃及有机酸酐。

3、发明人在实现本实用新型的过程中发现现有技术存在如下问题：1、现有的喷涂装置在对石英坩埚内壁进行喷涂时，无法涉及到各个角落，因此其内壁会出现喷涂不均匀的情况；2、现有的喷涂装置一般都是由操作人员进行手动喷涂，从而会受到比较大的人为因素的影响，并且工作效率也很低。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供具有旋转结构的喷涂装置，以解决上述背景技术中提出的现有的喷涂装置在对石英坩埚内壁进行喷涂时，无法涉及到各个角落，因此其内壁会出现喷涂不均匀的情况且现有的喷涂装置一般都是由操作人员进行手动喷涂，从而会受到比较大的人为因素的影响，并且工作效率也很低问题。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：具有旋转结构的喷涂装置，包括支撑框架，所述支撑框架的顶部的中部垂直贯穿有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆的杆体外壁套接有转盘，所述转盘的环形外壁固定连接有夹持装置，所述支撑框架的外壁滑动连接有垫板，所述垫板的底部的左右两侧固定连接有电动推杆，所述电动推杆的底端固定连接于底座顶部的左右两侧，所述底座的顶部的中部设有储料箱，所述储料箱的顶部的中部垂直贯穿有喷涂机构，所述支撑框架的顶部的左右两侧垂直贯穿有升降装置。

2、进一步优选的，所述驱动电机通过伸缩杆与转盘共同构成旋转机构。

3、进一步优选的，所述夹持装置是由两个l形板、两个固定板和两个夹紧螺栓共同组成，其中两个l形板的一侧分别固定连接于转盘的两侧外壁，而固定板则是固定连接于两个l形板的相对面，并且在l形板和固定板的内部均开设有螺孔，同时二者通过各自所设的螺孔与夹紧螺栓构成螺纹连接。

4、进一步优选的，所述垫板呈十字形，且在其四个开角处设有钩状滑块，同时垫板通过钩状滑块与支撑框架构成滑动连接连接管。

5、进一步优选的，所述喷涂机构是由引料管、抽料泵、连接管、l形喷料管和喷嘴共同组成，其中引料管的底端垂直贯穿于储料箱的顶部的中部，且在引料管与连接管之间固定安装有抽料泵，而连接管的顶端则固定连接有l形喷料管，同时l形喷料管的管壁设有若干个等距分布的喷嘴。

6、进一步优选的，所述升降装置是由液压推杆、连接板和套环共同组成，其中液压推杆的驱动端分别垂直贯穿于支撑框架顶部的左右两侧，并与同侧的连接板的顶部固定连接，而在左右两侧的连接板之间固定连接有套环，且该套环的内壁与伸缩杆的杆体外壁固定连接。

7、与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

8、本实用新型中，夹持装置可将倒扣的石英坩埚夹紧，启动升降装置，将石英坩埚调整至将l形喷料管完全覆盖住，再启动驱动电机，带动夹紧装置和石英坩埚一同旋转，从而使得石英坩埚内壁的各个角落都能够受到来自喷嘴的涂料喷射，完成均匀喷涂的操作。

9、因为l形喷料管的特殊形状，使其能够兼顾到石英坩埚侧壁以及底壁的喷涂工作，在操作人员通过启动驱动电机带动整个石英坩埚旋转的同时，竖直段的l形喷料管能够对石英坩埚的环形侧壁进行喷涂，而横向设置的l形喷料管则能够以点为圆心，对整个平根锅底壁进行圆周式喷涂，使得石英坩埚内壁的各个角落都能够均匀喷到涂料。

技术特征：

1.具有旋转结构的喷涂装置，包括支撑框架(1)，其特征在于：所述支撑框架(1)的顶部的中部垂直贯穿有驱动电机(2)，所述驱动电机(2)的输出端固定连接有伸缩杆(3)，所述伸缩杆(3)的杆体外壁套接有转盘(4)，所述转盘(4)的环形外壁固定连接有夹持装置(5)，所述支撑框架(1)的外壁滑动连接有垫板(6)，所述垫板(6)的底部的左右两侧固定连接有电动推杆(7)，所述电动推杆(7)的底端固定连接于底座(8)顶部的左右两侧，所述底座(8)的顶部的中部设有储料箱(9)，所述储料箱(9)的顶部的中部垂直贯穿有喷涂机构(10)，所述支撑框架(1)的顶部的左右两侧垂直贯穿有升降装置(11)。

2.根据权利要求1所述的具有旋转结构的喷涂装置，其特征在于：所述驱动电机(2)通过伸缩杆(3)与转盘(4)共同构成旋转机构。

3.根据权利要求1所述的具有旋转结构的喷涂装置，其特征在于：所述夹持装置(5)是由两个l形板(501)、两个固定板(502)和两个夹紧螺栓(503)共同组成，其中两个l形板(501)的一侧分别固定连接于转盘(4)的两侧外壁，而固定板(502)则是固定连接于两个l形板(501)的相对面，并且在l形板(501)和固定板(502)的内部均开设有螺孔，同时二者通过各自所设的螺孔与夹紧螺栓(503)构成螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的具有旋转结构的喷涂装置，其特征在于：所述垫板(6)呈十字形，且在其四个开角处设有钩状滑块(601)，同时垫板(6)通过钩状滑块(601)与支撑框架(1)构成滑动连接。

5.根据权利要求1所述的具有旋转结构的喷涂装置，其特征在于：所述喷涂机构(10)是由引料管(1001)、抽料泵(1002)、连接管(1003)、l形喷料管(1004)和喷嘴(1005)共同组成，其中引料管(1001)的底端垂直贯穿于储料箱(9)的顶部的中部，且在引料管(1001)与连接管(1003)之间固定安装有抽料泵(1002)，而连接管(1003)的顶端则固定连接有l形喷料管(1004)，同时l形喷料管(1004)的管壁设有若干个等距分布的喷嘴(1005)。

6.根据权利要求1所述的具有旋转结构的喷涂装置，其特征在于：所述升降装置(11)是由液压推杆(1101)、连接板(1102)和套环(1103)共同组成，其中液压推杆(1101)的驱动端分别垂直贯穿于支撑框架(1)顶部的左右两侧，并与同侧的连接板(1102)的顶部固定连接，而在左右两侧的连接板(1102)之间固定连接有套环(1103)，且该套环(1103)的内壁与伸缩杆(3)的杆体外壁固定连接。

技术总结
本技术涉及石英坩埚生产技术领域，具体为具有旋转结构的喷涂装置，包括支撑框架，所述支撑框架的顶部的中部垂直贯穿有驱动电机，所述驱动的电机输出端固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆的杆体外壁套接有转盘，所述转盘的环形外壁固定连接有夹持装置，所述支撑框架的外壁滑动连接有垫板，所述垫板的底部的左右两侧固定连接有电动推杆，所述电动推杆的底端固定连接于底座顶部的左右两侧，所述底座的顶部的中部设有储料箱。改良后的喷涂装置，旋转机构能够带动石英坩埚在L形喷料管外部做匀速旋转运动，L形喷料管的特殊形状，能够兼顾到石英坩埚侧壁以及底壁的喷涂工作，使得石英坩埚内壁的各个角落都能够均匀喷到涂料。

技术研发人员：罗佳伟,苏光都,杨小刚,刘积有
受保护的技术使用者：四川中昱绿能科技有限公司
技术研发日：20240124
技术公布日：2024/9/23