一种晶棒挤压成型的油压机的制作方法

本发明涉及伺服油压机领域，具体涉及一种晶棒挤压成型的油压机。

背景技术：

1、目前国内油压机没有速度控制模式，在挤压晶棒时(例举φ100mm挤压成φ40mm)，由于材料(氧化铝、氮化铝等其他材料)本身的密度差异，导致在压力模式下，出棒速度会有波动，影响了晶棒成型的良率。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的问题，本发明提供一种晶棒挤压成型的油压机，以解决上述至少一种技术问题。

2、本发明的技术方案是：一种晶棒挤压成型的油压机，包括油压机本体，其特征在于，所述油压机本体设置在一底部支架，所述油压机本体包括上固定盘和下固定盘，所述上固定盘通过锁紧螺母和滑动支柱与下固定盘固定连接，所述滑动支柱的两端设有与锁紧螺母啮合的螺纹；

3、所述上固定盘与所述下固定盘之间设有移动盘，所述移动盘沿着滑动支柱在所述上固定盘与所述下固定盘之间来回移动，所述上固定盘的顶部安装有伺服油缸，所述伺服油缸推动或提拉移动盘的上下运动轨迹；

4、所述上固定盘和移动盘上还安装有一磁栅尺，所述磁栅尺的探头固定在移动盘上，所述磁栅尺的记录端安装在上固定盘上，所述移动盘的外侧安装有限位开关，限位开关控制移动盘上下极限行程。

5、本发明在原有压力控制模式下，新增加了速度控制模式，可根据实际需求，调节下压速度来达到所需的挤压工艺，并可以在压力、速度模式自由切换，应对各类产品的挤压工艺。

6、进一步优选，所述底盘支架的一侧设有电气控制系统，所述电气控制系统包括plc和用于操作控制系统的触摸屏，电气控制系统包括压力控制和速度控制两种模式，所述压力控制，是指设备按压力设定值持续工作，所述速度控制，是指设备按设定的目标速度工作，如实际运行速度值低于设定速度，系统将自动提速，保证设备在速度稳定状态下运行。

7、在设备工作时，可在触摸屏上选择需要的控制模式(速度或压力)。针对不同的材料，需要不同的挤压工艺，包括压力与速度，本发明为了应对各类产品的需要，进行压力控制与速度控制的切换。

8、进一步优选，所述底盘支架与所述电气控制系统固定在同一底座上。从而便于运输。

9、进一步优选，所述磁栅尺采集移动盘上下移动的位置数据，根据此数据计算出移动盘的移动速度，并反馈信号至plc。

10、进一步优选，所述磁栅尺的精度为6μ m，所述磁栅尺的采集速度为0.1秒。

11、进一步优选，所述磁栅尺安装在所述上固定盘的中央。

12、从而可以减少误差。

13、进一步优选，所述伺服油缸根据plc给出的运动指令，来推动或提拉移动盘的上下运动轨迹(与移动盘连接)，在两种工作模式下(压力、速度)，由p.i.d运算后反馈至plc，控制电机的转速，达到所需的下压模式。

14、本发明在伺服油压机原有基础上，增加了磁栅尺，通过磁栅尺采集的各时间段位置数据，反馈至plc控制系统中，经过p.i.d运算后，直接控制伺服油缸电机转速，保证下压速度的稳定性，如：在下压过程中，突然遇到材质相对紧实的部分，此时如还是同样的下压力，出棒速度会相对减慢，此时，就需要速度功能的参与，当磁栅尺反馈值低于设定数值时，p.i.d参与运算后提高电机转速，加大下压压力(反之则减小)，保证速度的稳定性。

技术特征：

1.一种晶棒挤压成型的油压机，包括油压机本体，其特征在于，所述油压机本体设置在一底部支架，所述油压机本体包括上固定盘和下固定盘，所述上固定盘通过锁紧螺母和滑动支柱与下固定盘固定连接，所述滑动支柱的两端设有与锁紧螺母啮合的螺纹；

2.根据权利要求1所述的一种晶棒挤压成型的油压机，其特征在于，所述底盘支架的一侧设有电气控制系统，所述电气控制系统包括plc和用于操作控制系统的触摸屏，所述电气控制系统包括压力控制和速度控制两种模式，所述压力控制，是指设备按压力设定值持续工作，所述速度控制，是指设备按设定的目标速度工作，如实际运行速度值低于设定速度，系统将自动提速，保证设备在速度稳定状态下运行。

3.根据权利要求2所述的一种晶棒挤压成型的油压机，其特征在于，所述底盘支架与所述电气控制系统固定在同一底座上。

4.根据权利要求2所述的一种晶棒挤压成型的油压机，其特征在于，所述磁栅尺采集移动盘上下移动的位置数据，根据此数据计算出移动盘的移动速度，并反馈信号至plc。

5.根据权利要求4所述的一种晶棒挤压成型的油压机，其特征在于，所述磁栅尺的精度为6μm，所述磁栅尺的采集速度为0.1秒。

6.根据权利要求4所述的一种晶棒挤压成型的油压机，其特征在于，所述磁栅尺安装在所述上固定盘的中央。

7.根据权利要求2所述的一种晶棒挤压成型的油压机，其特征在于，所述伺服油缸根据plc给出的运动指令，来推动或提拉移动盘的上下运动轨迹(与移动盘连接)，在两种工作模式下(压力、速度)，由p.i.d运算后反馈至plc，控制电机的转速，达到所需的下压模式。

技术总结
本发明提供一种晶棒挤压成型的油压机，包括油压机本体，油压机本体设置在一底部支架，油压机本体包括上固定盘和下固定盘，上固定盘通过锁紧螺母和滑动支柱与下固定盘固定连接，滑动支柱的两端设有与锁紧螺母啮合的螺纹，上固定盘与下固定盘之间设有移动盘，移动盘沿着滑动支柱在上固定盘与下固定盘之间来回移动，上固定盘的顶部安装有伺服油缸，伺服油缸推动或提拉移动盘的上下运动轨迹；上固定盘和移动盘上还安装有一磁栅尺，磁栅尺的探头固定在移动盘上，磁栅尺的记录端安装在上固定盘上，移动盘的外侧安装有限位开关，限位开关控制移动盘上下极限行程。本发明装置具有压力控制和速度控制两种工作模式，可以更好的满足工艺需求。

技术研发人员：唐明,陆春生,金安泽,玉梦真,王宇
受保护的技术使用者：上海汉虹精密机械有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23