一种搅拌装置的制作方法
本发明涉及半导体设备领域，具体涉及一种搅拌装置。
背景技术：
1、在半导体制造过程中，晶圆的表面平坦化是至关重要的一步。在半导体研磨工艺中，主要采用化学腐蚀和机械去除相结合的方式实现晶圆表面全局平坦化。
2、然而，在这一过程中，研磨剂的成分配比和搅拌效果对晶圆的研磨速率和研磨效果有着决定性的影响。在目前的流水线生产过程中，各机台不停的运作以不停断的供应研磨剂，这就需要在供应研磨剂过程中不停的搅拌，以保证研磨剂中各成分的均匀性。
3、现有的搅拌装置通常采用单一电机驱动，一旦电机发生故障，搅拌轴停止工作，将直接影响到研磨剂的均匀性和生产线的效率与质量。
4、为了提高生产的效率和容错率，需要提供一种稳定性好的装置，以不断提供质量达标的研磨剂。
技术实现思路
1、为了解决上述问题，本发明提供了一种具有双动力冗余的搅拌装置。该搅拌装置能够在失去动力时，自动切换另一个动力设备提供动力，保证搅拌轴的持续工作，从而避免研磨剂中颗粒沉淀，确保流水线生产的效率和质量。
2、本发明提供的一种搅拌装置，包括：
3、控制台，用于接收信号和产生控制信号；
4、腔体，所述腔体用于容纳所述研磨剂；
5、搅拌轴，其贯穿所述腔体设置，用于对腔体内的研磨剂进行搅拌；
6、两个动力组件，不同时与所述搅拌轴连接；
7、当连接于所述搅拌轴的所述动力组件故障后，所述控制台检测到故障信号，然后发出控制信号控制该故障动力组件与所述搅拌轴断开，并控制另一个动力组件与所述搅拌轴连接。通过双动力冗余设计，提高了搅拌装置的稳定性和容错率，减少了因电机故障导致的生产中断和晶圆报废的风险。
8、优选地，所述动力组件包括：
9、动力输出轴，其设置在所述腔体外；
10、传动轴，其第一端与所述搅拌轴连接，第二端与所述动力输出轴连接或断开；
11、联轴器，滑动连接于所述传动轴与所述动力输出轴之间，用于控制所述传动轴与所述动力输出轴之间的连接或断开；
12、驱动器，其与所述控制台信号连接且与所述联轴器机械连接，受所述控制信号控制以驱动所述联轴器移动。所述驱动器受控制信号控制，能够自动驱动联轴器在动力输出轴和传动轴之间进行连接或断开，实现快速切换，减少了因人工操作带来的时间延误和潜在错误。
13、优选地，所述联轴器与所述动力输出轴和所述传动轴均采用键连接，提供了牢固的机械连接，保证了传动过程中的扭矩传递效率和稳定性。
14、优选地，所述联轴器的内径与所述动力输出轴和所述传动轴的外径匹配；
15、所述联轴器内壁设有键槽；
16、所述动力输出轴和所述传动轴的外侧壁均设置有键；
17、在第一状态，所述联轴器与所述动力输出轴键连接，与所述传动轴断开；在第二状态，所述联轴器与所述动力输出轴和所述传动轴均键连接。
18、优选地，两个动力组件包括第一动力组件和第二动力组件，所述第一动力组件的传动轴与所述搅拌轴固定连接；所述第二动力组件的传动轴与所述搅拌轴通过伞齿轮连接。
19、优选地，所述第一动力组件的传动轴与所述搅拌轴同轴设置，所述第一动力组件的传动轴与所述搅拌轴垂直设置。
20、优选地，所述搅拌装置还包括：
21、导轨和滑动连接在导轨中的滑块；
22、固定件，用于固定所述第二动力组件的联轴器；
23、所述第二动力组件的联轴器与所述滑块固定连接，随所述滑块移动。通过导轨和固定件的设计使得联轴器的定位和导向更加简便，便于维护和调整。
24、优选地，所述固定件是固定设置的固定板，所述固定板上设置有通孔，所述第二动力组件的联轴器贯穿所述通孔设置。
25、优选地，所述动力输出轴是固定在所述腔体外的电机的转轴。
26、优选地，所述搅拌装置还包括基座，所述基座用于固定所述驱动器。
27、优选地，所述驱动器是气缸。
28、优选地，所述腔体外侧壁设置有进料口和出料口。
29、本发明的主要优点包括：
30、1.通过双电机冗余设计，提高了搅拌装置的稳定性和容错率，减少了因电机故障导致的生产中断和晶圆报废的风险。
31、2.确保了研磨剂中各成分的均匀性，提高了研磨速率，从而提升了晶圆的研磨效果。
32、3.通过自动切换机制，减少了人工干预，提高了生产自动化水平，降低了企业的运营成本。
技术特征：
1.一种搅拌装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的搅拌装置，其特征在于，每个所述动力组件包括：
3.如权利要求2所述的搅拌装置，其特征在于，所述联轴器与所述动力输出轴和所述传动轴均采用键连接。
4.如权利要求3所述的搅拌装置，其特征在于，所述联轴器的内径与所述动力输出轴和所述传动轴的外径匹配；
5.如权利要求2所述的搅拌装置，其特征在于，两个动力组件包括第一动力组件和第二动力组件，所述第一动力组件的传动轴与所述搅拌轴固定连接；所述第二动力组件的传动轴与所述搅拌轴通过伞齿轮连接。
6.如权利要求5所述的搅拌装置，其特征在于，所述第一动力组件的传动轴与所述搅拌轴同轴设置，所述第二动力组件的传动轴与所述搅拌轴垂直设置。
7.如权利要求5所述的搅拌装置，其特征在于，还包括：
8.如权利要求7所述的搅拌装置，其特征在于，所述固定件是固定设置的固定板，所述固定板上设置有通孔，所述第二动力组件的联轴器贯穿所述通孔设置。
9.如权利要求2所述的搅拌装置，其特征在于，所述动力输出轴是固定在所述腔体外的电机的转轴。
10.如权利要求2所述的搅拌装置，其特征在于，还包括基座，所述基座用于固定所述驱动器。
11.如权利要求2所述的搅拌装置，其特征在于，所述驱动器是气缸。
12.如权利要求1所述的搅拌装置，其特征在于，所述腔体外侧壁设置有进料口和出料口。
技术总结
本发明涉及一种搅拌装置，包括：控制台，用于接收信号和产生控制信号；腔体，所述腔体用于容纳所述研磨剂；搅拌轴，其贯穿所述腔体设置，用于对腔体内的研磨剂进行搅拌；两个动力组件，不同时与所述搅拌轴连接；当连接于所述搅拌轴的所述动力组件故障后，所述控制台检测到故障信号，然后发出控制信号控制该故障动力组件与所述搅拌轴断开，并控制另一个动力组件与所述搅拌轴连接。本发明通过双动力冗余设计，提高了搅拌装置的稳定性和容错率，减少了因电机故障导致的生产中断和晶圆报废的风险；通过自动切换机制，提高了生产自动化水平，降低了企业的运营成本。
技术研发人员：彭召洋,齐宝玉,陈锟,孙延松,张巍
受保护的技术使用者：格科半导体（上海）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23