基板处理装置管理系统、基板处理装置管理方法以及基板处理装置管理程序与流程

本发明有关于一种被使用于管理多个基板处理装置的基板处理装置管理系统、基板处理装置管理方法以及基板处理装置管理程序。

背景技术：

1、为了对被使用于液晶显示设备或者有机el(electroluminescence；电致发光)显示设备等的平面显示器(fpd；flat panel display)用基板、半导体基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光罩(photomask)用基板、陶瓷基板或者太阳电池用基板等的各种基板进行各种处理，使用基板处理装置。在基板处理装置中，例如遵循预先设定的处理顺序(制程)对基板施予一连串的处理。为了防止因为基板处理装置的异常导致产生基板的处理不良，提出了一种用以判定基板处理装置的异常的数据处理系统(参照例如专利文献1)。

2、在这种数据处理系统中，于基板的处理中测量与基板处理装置相关的多个物理量，并通过以时间序列排列这些测量结果从而生成多个时间序列数据。于多个时间序列数据包含有例如从喷嘴喷出的处理液的流量以及腔室内的压力等的物理量的数据。将各个时间序列数据与预先设定的基准数据比较，借此算出评价值。基于算出的评价值来判定时间序列数据中是否存在异常。

3、专利文献1：日本特开2020-47847号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、多个基板处理装置例如分别设置于世界上的多个场所。各个基板处理装置的维护作业通过负责该基板处理装置的当地的维护作业者来进行。维护作业者能基于该数据处理系统所为的异常的判定结果来掌握是否于基板处理装置发生异常。

3、会有维护作业者在基板处理装置中发生异常时无法确定异常的发生原因的情形。在这种情形中，维护作业者对管理多个基板处理装置的管理者请求详细调查自己所负责的基板处理装置。接受到调查请求的管理者针对成为调查对象的基板处理装置进行各种调查。此外，管理者对请求调查的维护作业者给予基于调查结果的具体的作业指示。

4、当存在多个维护作业者针对多个基板处理装置的多个调查请求时，管理者难以并行地进行多个基板处理装置的调查。在这种情形中，管理者针对多个基板处理装置决定调查的优先顺位。为了适当地决定调查的优先顺位，需要掌握成为调查对象的多个基板处理装置的异常的程度。为了掌握多个基板处理装置的异常的程度，必须针对多个基板处理装置分别进行一次调查。这种一次调查包含有例如过去的时间序列数据的分析以及对维护作业者的听证等。如此，一次调查是繁杂的。因此，管理者在存在多个调查请求后直至针对各个调查请求开始实际的调查为止需要很长的时间。

5、本发明的目的为提供一种基板处理装置管理系统、基板处理装置管理方法以及基板处理装置管理程序，在针对多个基板处理装置存在多个调查请求的情形中管理者能够在短时间内容易且适当地掌握调查的优先顺位。

6、用于解决问题的手段

7、(1)本发明的一个实施方式为一种基板处理装置管理系统，被使用于管理多个基板处理装置，并具备：信息收集部，从各个基板处理装置收集多个处理信息，该多个处理信息示出与基板的处理关联的动作或者状态；分数算出部，针对各个基板处理装置，基于多个处理信息间的不变的关系与从该基板处理装置所收集的多个处理信息，算出该基板处理装置的异常的程度作为异常分数；请求受理部，从各个基板处理装置受理与异常相关的调查请求；分数取得部，取得针对已对请求受理部发送了调查请求的两个以上的基板处理装置分别算出的两个以上的异常分数；以及优先顺位提示部，基于分数取得部所取得的两个以上的异常分数，提示应响应于针对两个以上的调查请求的与优先顺位相关的优先顺位信息。

8、在基板处理装置管理系统中，针对多个基板处理装置分别算出基板处理装置的异常的程度作为异常分数。在针对两个以上的基板处理装置存在两个以上的调查请求的情形中，提示了基于存在调查请求的两个以上的基板处理装置的异常分数的优先顺位信息。异常分数基于多个处理信息间的不变的关系被算出。因此，多个基板处理装置的管理者能针对存在调查请求的多个基板处理装置在短时间内容易且适当地掌握调查的优先顺位。

9、(2)也可为，所述优先顺位信息包含由分数取得部所取得的两个以上的异常分数；优先顺位提示部将由分数取得部所取得的两个以上的异常分数与两个以上的基板处理装置分别建立关联地进行提示。在这种情形中，多个基板处理装置的管理者能基于所提示的异常分数容易地掌握存在调查请求的两个以上的基板处理装置的异常的程度。

10、(3)也可为，基板处理装置管理系统还具备：分数发送部，将由分数算出部所算出的异常分数发送至与该异常分数对应的基板处理装置。在这种情形中，能使各个基板处理装置存储异常分数。因此，在各个基板处理装置中能够进行基于异常分数的异常的分析。

11、(4)也可为，基板处理装置管理系统还具备：警报发送部，判定针对各个基板处理装置所算出的异常分数是否超过预先设定的阈值，在异常分数超过阈值的情形中对与该异常分数对应的基板处理装置发送警报。在这种情形中，在各个基板处理装置中能容易地掌握发生超过预先设定的程度的异常。

12、(5)也可为，信息收集部在每次经过固定时间时重复所收集的多个处理信息的累计以及重置；分数算出部针对各个基板处理装置，基于多个处理信息间的不变的关系以及由该基板处理装置所生成且由信息收集部所累计的多个处理信息，算出该基板处理装置的异常的程度作为异常分数。在这种情形中，降低各个处理信息的收集时所发生的噪声等的影响波及异常分数。

13、(6)也可为，针对多个处理信息设定相互不同的两个处理信息的多个组合；各个组合包含第一处理信息以及第二处理信息；分数算出部针对各个组合，基于以预先设定的条件所收集的第二处理信息，生成以预先设定的条件预测的第一处理信息作为第一预测处理信息，并算出所生成的第一预测处理信息与由数据收集部实际所收集的第一处理信息之间的偏差的程度作为第一偏差度；分数算出部针对各个组合，基于以预先设定的条件所收集的第一处理信息，生成以预先设定的条件预测的第二处理信息作为第二预测处理信息，并算出所生成的第二预测处理信息与由数据收集部实际所收集的第二处理信息之间的偏差的程度作为第二偏差度；分数算出部基于针对多个组合分别算出的多个第一偏差度以及多个第二偏差度算出异常分数。在这种情形中，能够针对实际所收集的各个处理信息算出与其它的处理信息之间的不变的关系的异常分数。

14、(7)也可为，分数算出部算出针对多个组合分别算出的多个第一偏差度以及多个第二偏差度的合计作为异常分数。在这种情形中，能容易地算出各个基板处理装置的异常的程度。

15、(8)对多个组合分别分配根据该组合与基板处理装置的多个种类的异常状态之间的关联性预先设定的权重；分数算出部基于多个组合与多个权重算出多个第一偏差度以及多个第二偏差度。

16、在这种情形中，参照基于多个第一偏差度以及多个第二偏差度所算出的异常分数，借此能更适当地掌握各个基板处理装置的异常的程度。

17、(9)也可为，多个处理信息包含下述中的至少一者的物理量：被供给至基板的流体的供给量、被供给至基板的流体的温度、被供给至基板的处理液的浓度、收容基板的处理室内的温度、收容基板的处理室内的压力、从收容基板的处理室排出的气体的压力、以及由机器人所搬运的基板的移动速度。在这种情形中，基于在基板处理装置中所取得的一个或者多个物理量算出异常分数。

18、(10)也可为，多个处理信息包含与下述至少一者相关的信息：驱动用于搬运基板的机器人的驱动脉冲信号、设置于用于搬运基板的机器人的检测器的输出信号、以及被传输至控制阀的开闭信号。在这种情形中，基于在基板处理装置中被使用的一个或者多个信号算出异常分数。

19、(11)也可为，各个基板处理装置为基板清洗装置，用以使用清洗液来清洗基板；多个处理信息包含下述中的至少一者：被供给至基板的清洗液的供给量、被供给至基板的清洗液的温度、以及被供给至基板的清洗液的浓度。在这种情形中，在针对多个基板清洗装置存在多个调查请求的情形中，适当地决定调查的优先顺位。

20、(12)本发明的另一个实施方式为一种基板处理装置管理方法，被使用于管理多个基板处理装置，并包括下述步骤：从各个基板处理装置收集多个处理信息，该多个处理信息示出与基板的处理关联的动作或者状态的步骤；针对各个基板处理装置，基于多个处理信息间的不变的关系与从该基板处理装置所收集的多个处理信息，算出该基板处理装置的异常的程度作为异常分数的步骤；从各个基板处理装置受理与异常相关的调查请求的步骤；取得针对已发送了调查请求的两个以上的基板处理装置分别算出的两个以上的异常分数的步骤；以及基于在取得两个以上的异常分数的步骤所取得的两个以上的异常分数，提示应响应于两个以上的调查请求的与优先顺位相关的优先顺位信息的步骤。

21、在基板处理装置管理方法中，针对多个基板处理装置分别算出基板处理装置的异常的程度作为异常分数。在针对两个以上的基板处理装置存在两个以上的调查请求的情形中，提示了基于存在调查请求的两个以上的基板处理装置的异常分数的优先顺位信息。异常分数基于多个处理信息间的不变的关系被算出。因此，多个基板处理装置的管理者能针对存在调查请求的多个基板处理装置在短时间内容易且适当地掌握调查的优先顺位。

22、(13)本发明的另一个实施方式为一种基板处理装置管理程序，使计算机执行使用信息分析装置来管理多个基板处理装置的处理；信息分析装置具备：信息收集部，从各个基板处理装置收集多个处理信息，该多个处理信息示出与基板的处理关联的动作或者状态；以及分数算出部，针对各个基板处理装置，基于多个处理信息间的不变的关系与从该基板处理装置所收集的多个处理信息，算出该基板处理装置的异常的程度作为异常分数。管理多个基板处理装置的处理包含下述处理：从各个基板处理装置受理与异常相关的调查请求的处理；取得针对已发送了调查请求的两个以上的基板处理装置分别算出的两个以上的异常分数的处理；以及基于在取得两个以上的异常分数的处理所取得的两个以上的异常分数，提示应响应于两个以上的调查请求的与优先顺位相关的优先顺位信息的处理。

23、在基板处理装置管理程序中，在针对两个以上的基板处理装置存在两个以上的调查请求的情形中，提示了基于存在调查请求的两个以上的基板处理装置的异常分数的优先顺位信息。异常分数基于多个处理信息间的不变的关系被算出。因此，多个基板处理装置的管理者能针对存在调查请求的多个基板处理装置在短时间内容易且适当地掌握调查的优先顺位。

24、发明的效果

25、依据本发明，在针对多个基板处理装置存在多个调查请求的情形中，管理者能够在短时间内容易且适当地掌握调查的优先顺位。

技术特征：

1.一种基板处理装置管理系统，被使用于管理多个基板处理装置，其中，具备：

2.如权利要求1所记载的基板处理装置管理系统，其中，

3.如权利要求1或2所记载的基板处理装置管理系统，其中，

4.如权利要求1至3中任一项所记载的基板处理装置管理系统，其中，

5.如权利要求1至4中任一项所记载的基板处理装置管理系统，其中，

6.如权利要求1至5中任一项所记载的基板处理装置管理系统，其中，

7.如权利要求6所记载的基板处理装置管理系统，其中，

8.如权利要求6或7所记载的基板处理装置管理系统，其中，

9.如权利要求1至8中任一项所记载的基板处理装置管理系统，其中，

10.如权利要求1至9中任一项所记载的基板处理装置管理系统，其中，

11.如权利要求1至10中任一项所记载的基板处理装置管理系统，其中，

12.一种基板处理装置管理方法，被使用于管理多个基板处理装置，其中，包括：

13.一种基板处理装置管理程序，使计算机执行使用信息分析装置来管理多个基板处理装置的处理，其中，

技术总结
在基板处理装置管理系统中从多个基板处理装置分别收集多个处理信息，该多个处理信息示出与基板的处理关联的动作或者状态。针对各个基板处理装置，基于多个处理信息间的不变的关系与从该基板处理装置所收集的多个处理信息，算出该基板处理装置的异常的程度作为异常分数。在管理装置中，从各个基板处理装置受理与异常相关的调查请求。在受理了两个以上的调查请求时，取得与这些调查请求对应的基板处理装置的异常分数。基于所取得的多个异常分数，对管理者提示应响应于两个以上的调查请求的与优先顺位相关的优先顺位信息。

技术研发人员：松井浩彬,生和高明,稻木大,上野智宏,中野佑太,吉原滉树,大野拓也
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23