异物检测以及利用荧光X射线的识别装置的制作方法

本发明涉及检查装置以及检查方法。

背景技术：

1、日本特开2009-236622号公报描述了一种带x射线荧光分析功能的高分辨率x射线显微装置，具备：检测器，被配置为检测通过由物镜使电子束聚焦于x射线产生标靶并使从标靶产生的x射线照射于样本而从样本产生的荧光x射线；以及分析部，被配置为根据检测器的检测结果分析荧光x射线。日本特开2009-236622号公报还描述了将整个检测器或检测器的一部分整合在物镜的磁路中的布置。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2009-236622号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、近年来，例如有数十μm以下的尺寸的异物被带入到产品中而引发缺陷的问题。例如，在锂离子电池中，对于以碳、铜、铝作为原料的构件，在制造时不锈钢或构件的一部分的异物的微粉可能被带入到电池中。

3、如果在制造锂离子电池时异物被带入到电池中，则在电池装运之后保持电池内的绝缘的隔离片可能因异物的振动而破裂。在该情况下，该电池可能被短路而起火或爆炸。

4、如果能够无损地检测异物，则能够防止可能起火或爆炸的产品的流通。作为使用x射线检测存在于样本的表面上的异物并指定异物的元素的方法，提供了x射线荧光法(也称为xrf)和斜入射x射线荧光法(也称为txrf)。在x射线荧光法中，样本基板的元素也被激发，在斜入射x射线荧光法中，入射x射线由于异物而散射。因此，在这些测量方法中，会有由于异物而使产生的荧光x射线的强度比减弱的问题。

5、本发明的目的在于提供一种有利于以高灵敏度检测存在于检查对象表面上的异物的技术。

6、解决问题的技术手段

7、本发明的第一方面提供一种检查装置，用于检查布置于检查面上的检查对象表面，所述检查装置包括：x射线产生管，具有包括通过被电子束照射而产生x射线的x射线产生部的标靶，并被配置为对所述检查面发射x射线；以及x射线检测器，被配置为检测从存在于被照射来自所述x射线产生部的x射线的所述检查对象表面上的异物发射并被所述检查对象表面全反射的x射线，其中，所述x射线检测器包括长条状的x射线接收器。

8、本发明的第二方面提供一种检查装置，用于检查具有第一检查对象表面及第二检查对象表面的检查对象物，所述检查装置包括：x射线产生管，具有包括通过被电子束照射而产生x射线的x射线产生部的标靶，并被配置为对所述检查对象物发射x射线；以及x射线检测器，包括x射线接收器，所述x射线接收器被配置为接收从存在于被照射来自所述x射线产生部的x射线的所述第一检查对象表面上的异物发射并被所述第一检查对象表面全反射的x射线、以及从存在于被照射来自所述x射线产生部的x射线的所述第二检查对象表面上的异物发射并被所述第二检查对象表面全反射的x射线，其中，所述x射线接收器被布置为使包括所述第一检查对象表面的第一虚拟面与包括所述第二检查对象表面的第二虚拟面相交。

9、本发明的第三方面提供一种检查方法，检查布置于检查面上的检查对象表面，所述检查方法包括：x射线检测步骤，对所述检查面发射x射线，并由包括长条状的x射线接收器的x射线检测器检测从存在于所述检查对象表面上的异物发射并被所述检查对象表面全反射的x射线；以及处理步骤，处理所述x射线检测器的输出。

10、发明的效果

11、根据本发明，提供了一种有利于以高灵敏度检测存在于检查对象表面上的异物的技术。

技术特征：

1.一种检查装置，用于检查布置于检查面上的检查对象表面，所述检查装置包括：

2.如权利要求1所述的检查装置，还包括处理器，所述处理器被配置为进行根据来自所述x射线检测器的输出检测所述异物的处理。

3.如权利要求2所述的检查装置，其中，所述处理器还进行指定形成所述异物的物质的处理。

4.如权利要求1至3中任一项所述的检查装置，其中，所述检查面与所述x射线产生部之间的距离不大于5mm。

5.如权利要求1至3中任一项所述的检查装置，其中，所述检查面与所述x射线产生部之间的距离不大于3mm。

6.如权利要求1至4中任一项所述的检查装置，其中，连接所述x射线产生管的轴和所述检查面的交点与所述x射线接收器的中心的虚拟线和所述检查面所成的角度不大于5°。

7.如权利要求1至4中任一项所述的检查装置，其中，连接所述x射线产生管的轴和所述检查面的交点与所述x射线接收器的中心的虚拟线和所述检查面所成的角度不大于2°。

8.如权利要求6或7所述的检查装置，还包括在所述虚拟线上具有狭缝的狭缝构件。

9.如权利要求1至8中任一项所述的检查装置，还包括x射线检测面板，所述x射线检测面板被配置为检测从所述x射线产生部发射并透射过具有所述检查对象表面的检查对象物的x射线。

10.如权利要求1至9中任一项所述的检查装置，其中，所述x射线产生管是密闭透射型。

11.如权利要求1至10中任一项所述的检查装置，其中，所述x射线产生管包括被配置为保持所述标靶的标靶保持板，所述标靶保持板的厚度不大于4mm。

12.如权利要求11所述的检查装置，其中，所述标靶保持板包含金刚石。

13.如权利要求1至12中任一项所述的检查装置，其中，所述x射线接收器的长度方向与平行于所述检查对象表面的表面平行。

14.如权利要求13所述的检查装置，还包括搬运机构，所述搬运机构被配置为搬运具有所述检查对象表面的检查对象物，

15.如权利要求1至12中任一项所述的检查装置，其中，所述x射线接收器的长度方向与交叉于所述检查面的方向平行。

16.如权利要求1至12中任一项所述的检查装置，其中，所述x射线接收器的长度方向与正交于所述检查面的方向平行。

17.一种检查装置，用于检查具有第一检查对象表面及第二检查对象表面的检查对象物，所述检查装置包括：

18.一种检查方法，检查布置于检查面上的检查对象表面，所述检查方法包括：

19.如权利要求18所述的检查方法，其中，所述处理步骤包括检测所述异物的步骤。

20.如权利要求18或19所述的检查方法，其中，所述处理步骤包括指定形成所述异物的物质的步骤。

21.如权利要求18至20中任一项所述的检查方法，还包括由x射线检测面板检测透射过具有所述检查对象表面的检查对象物的x射线的步骤，

22.如权利要求21所述的检查方法，其中，所述处理步骤包括根据所述x射线检测面板的输出检测所述异物的存在及所述异物的位置的步骤。

23.如权利要求21所述的检查方法，其中，所述处理步骤包括根据所述x射线检测面板的输出检测所述异物的存在、所述异物的位置以及所述异物的尺寸的步骤。

技术总结
一种检查装置，用于检查布置于检查面上的检查对象表面，所述检查装置包括：X射线产生管，具有包括通过被电子束照射而产生X射线的X射线产生部的标靶，并被配置为对所述检查面发射X射线；以及X射线检测器，被配置为检测从存在于被照射来自所述X射线产生部的X射线的所述检查对象表面上的异物发射并被所述检查对象表面全反射的X射线。所述X射线检测器包括长条状的X射线接收器。

技术研发人员：塚本健夫
受保护的技术使用者：佳能安内华股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23