检查装置、检查方法、学习完毕模型生成装置、检查用程序以及学习完毕模型生成用程序与流程

本发明涉及检查装置、检查方法、学习完毕模型生成装置、检查用程序以及学习完毕模型生成用程序，例如涉及检查电感器元件的检查装置。

背景技术：

1、以往，已知有测定芯片电感器等电子零件的电特性，并基于测定结果进行电子零件是否良好的判定的检查装置。例如，在专利文献1中公开了一种检查装置，该检查装置测定检查对象的电感器元件的交流电阻和电感，并且使用这些测定值计算出q值，基于计算出的q值来判定电感器元件是否良好。

2、在专利文献1中，作为测定电感器元件的交流电阻的方法，记载了通过从通过二端子法测定出的交流电阻的测定值中减去通过二端子法进行测定时使用的测定用探针的接触电阻的推定值来计算交流电阻。此外，在专利文献1中记载了通过从通过四端子法测定出的直流电阻的测定值中减去通过二端子法测定出的直流电阻的测定值来计算接触电阻的推定值，并使用将接触电阻的推定值乘以0以上且1以下的系数而得到的值来校正交流电阻的测定值。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本专利第6949675号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的问题

2、专利文献1中公开的检查装置以电感器元件中的串联电阻与交流电阻的关系为线性为前提来校正交流电阻的测定值。然而，实际的电感器元件的串联电阻与交流电阻的关系不明确，例如在该关系为非线性的情况下，有可能无法适当地进行交流电阻的测定值的校正。此外，在专利文献1中公开的检查装置中，为了避免交流电阻的过校正，使用将接触电阻的推定值乘以系数而得到的值来校正交流电阻的测定值，但在该系数不适当的情况下，有可能无法适当地进行交流电阻的校正。

3、本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提高电子零件的检查的可靠性。

4、用于解决问题的方案

5、本发明的代表性的实施方式的检查装置的特征在于，具备：数据获取部，获取：通过四端子法测定出的测定对象物的直流电阻的第一测定值、通过二端子法测定出的所述测定对象物的直流电阻的第二测定值以及通过二端子法测定出的所述测定对象物的交流电阻的第三测定值；存储部，存储学习完毕模型，所述学习完毕模型用于使计算机发挥基于所输入的所述第一测定值和所述第二测定值计算出所述第三测定值的功能；以及推定部，基于存储于所述存储部的所述学习完毕模型，计算出与通过所述数据获取部获取到的所述第一测定值和所述第二测定值对应的所述第三测定值的推定值。

6、有益效果

7、根据本发明的检查装置，能提高电子零件的检查的可靠性。

技术特征：

1.一种检查装置，具备：

2.根据权利要求1所述的检查装置，

3.根据权利要求2所述的检查装置，其中，

4.根据权利要求3所述的检查装置，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的检查装置，其中，

6.一种检查装置，具备：

7.根据权利要求6所述的检查装置，其中，

8.一种学习完毕模型生成装置，具备：

9.根据权利要求8所述的学习完毕模型生成装置，其中，

10.一种检查方法，包括：

11.一种检查方法，包括：

12.一种检查用程序，使计算机执行权利要求10或11所述的检查方法中的各步骤。

13.一种学习完毕模型生成方法，包括：

14.一种学习完毕模型生成用程序，使计算机执行权利要求13所述的学习完毕模型生成方法中的各步骤。

技术总结
本发明提高电子零件的检查的可靠性。检查装置(2)使用学习完毕模型(35)计算出交流电阻的测定值的推定值(Rse)，其中，该学习完毕模型(35)用于使计算机发挥基于通过四端子法测定出的测定对象物的直流电阻的测定值(Rdc4)和通过二端子法测定出的测定对象物的直流电阻的测定值(Rdc2)，计算出通过二端子法测定出的测定对象物的交流电阻的测定值(Rs)的功能。

技术研发人员：小林昌史
受保护的技术使用者：日置电机株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23