一种扇叶刮刀组件及工艺废气处理系统的制作方法

本发明属于工艺废气处理，尤其涉及一种扇叶刮刀组件及工艺废气处理系统。

背景技术：

1、半导体工艺废气中含有大量的硅烷气体和氮氧化物，为了能够去除半导体工艺废气中的有害成分，通常需要对工艺废气依次进行热分解、水箱捕集可溶物和喷淋除尘。

2、但是，硅烷气体经过燃烧氧化后会产生大量二氧化硅粉尘，喷淋除尘后，工艺废气的湿度会大大增加，大量水汽与仍未去除的粉尘结合会堆积在喷淋塔的内壁，造成喷淋塔的堵塞。

技术实现思路

1、鉴于以上分析，本发明旨在提供一种扇叶刮刀组件及工艺废气处理系统，解决了现有技术中喷淋塔容易堵塞的问题。

2、本发明的目的主要是通过以下技术方案实现的：

3、本发明提供了一种扇叶刮刀组件，用于工艺废气处理系统的喷淋塔内壁的除尘，扇叶刮刀组件包括刮刀叶片、扇叶、发电机和蓄电池；刮刀叶片与喷淋塔内壁接触；扇叶的一端与刮刀叶片固定连接，扇叶的另一端与发电机的输入端连接，发电机的输出端与蓄电池电连接，工艺废气在流经扇叶时驱动扇叶绕发电机的输入端旋转，带动刮刀叶片相对于喷淋塔内壁发生旋转运动；发电机将扇叶的旋转动能转化为电能；工艺废气经过扇叶后形成旋流。

4、进一步地，上述扇叶刮刀组件还包括安装盘和安装轴，安装盘与喷淋塔固定连接，安装轴的一端与安装盘转动连接，安装轴的另一端与发电机的输入端固定连接。

5、进一步地，安装盘包括安装环、支撑环和连接肋；支撑环位于安装环内，连接肋的一端与安装环固定连接，连接肋的另一端与支撑环固定连接。

6、进一步地，刮刀叶片的数量为多个，多个刮刀叶片沿喷淋塔的周向均匀布置。

7、本发明还提供了一种工艺废气处理系统，包括扇叶刮刀组件以及沿工艺废气流动方向依次连接的反应腔、水箱和喷淋塔，扇叶刮刀组件设于喷淋塔中，扇叶刮刀组件为上述扇叶刮刀组件。

8、进一步地，上述工艺废气处理系统还包括臭氧发生器，喷淋塔上开设臭氧进气口，臭氧发生器与臭氧进气口连通。

9、进一步地，沿工艺废气流动方向，扇叶位于臭氧进气口的后方。

10、进一步地，臭氧发生器与蓄电池电连接。

11、进一步地，工艺废气处理系统还包括壳体以及设于壳体外壁的照明件，蓄电池与照明件电连接。

12、进一步地，反应腔包括腔体、电磁涡流加热管、冷却风通道和交流电电源；电磁涡流加热管包括废气管以及缠绕于废气管外壁的导电线圈，交流电电源与导电线圈连接，废气管沿腔体的轴向贯穿腔体，导电线圈和冷却风通道位于腔体内。

13、与现有技术相比，本发明至少可实现如下有益效果之一：

14、a）本发明提供的扇叶刮刀组件利用工艺废气的流动，使得扇叶刮刀组件具有喷淋塔内壁除尘、发电和工艺废气旋流除尘除湿多重功能。

15、b）本发明提供的扇叶刮刀组件，刮刀叶片始终与喷淋塔内壁接触，在扇叶的转动过程中，能够对喷淋塔内壁堆积的粉尘进行有效刮除，从而减少喷淋塔发生堵塞的情况。

16、c）本发明提供的扇叶刮刀组件，通过发电机的设置，利用工艺废气流动驱动扇叶转动，将扇叶的旋转动能转化为电能，能够有效利用扇叶的转动实现发电，并存储在蓄电池中，用于工艺废气处理系统中其他需电部件使用。

17、d）本发明提供的扇叶刮刀组件，由于发电机和刮刀叶片的设置，对扇叶的转动主动施加一个阻力，从而能够改变工艺废气的流动方向，使得工艺废气经过扇叶后形成旋流，进而能够对工艺废气进行旋流除尘除湿。

18、本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分的从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在所写的说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

技术特征：

1.一种扇叶刮刀组件，其特征在于，用于工艺废气处理系统的喷淋塔内壁的除尘，所述扇叶刮刀组件包括刮刀叶片、扇叶、发电机和蓄电池；

2.根据权利要求1所述的扇叶刮刀组件，其特征在于，还包括安装盘和安装轴，所述安装盘与喷淋塔固定连接，所述安装轴的一端与安装盘转动连接，所述安装轴的另一端与发电机的输入端固定连接。

3.根据权利要求2所述的扇叶刮刀组件，其特征在于，所述安装盘包括安装环、支撑环和连接肋；

4.根据权利要求1所述的扇叶刮刀组件，其特征在于，所述刮刀叶片的数量为多个，多个刮刀叶片沿喷淋塔的周向均匀布置。

5.一种工艺废气处理系统，其特征在于，包括扇叶刮刀组件以及沿工艺废气流动方向依次连接的反应腔、水箱和喷淋塔，所述扇叶刮刀组件设于喷淋塔中，所述扇叶刮刀组件为权利要求1至4任一项所述的扇叶刮刀组件。

6.根据权利要求5所述的工艺废气处理系统，其特征在于，还包括臭氧发生器，所述喷淋塔上开设臭氧进气口，所述臭氧发生器与臭氧进气口连通。

7.根据权利要求6所述的工艺废气处理系统，其特征在于，沿工艺废气流动方向，所述扇叶位于臭氧进气口的后方。

8.根据权利要求6所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述臭氧发生器与蓄电池电连接。

9.根据权利要求5所述的工艺废气处理系统，其特征在于，还包括壳体以及设于壳体外壁的照明件，所述蓄电池与照明件电连接。

10.根据权利要求5至9任一项所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述反应腔包括腔体、电磁涡流加热管、冷却风通道和交流电电源；

技术总结
本发明公开了一种扇叶刮刀组件及工艺废气处理系统，属于废气处理技术领域，解决了现有技术中喷淋塔容易堵塞的问题。本发明的扇叶刮刀组件，用于工艺废气处理系统的喷淋塔内壁的除尘，扇叶刮刀组件包括刮刀叶片、扇叶、发电机和蓄电池，刮刀叶片与喷淋塔内壁接触；扇叶的一端与刮刀叶片固定连接，扇叶的另一端与发电机的输入端连接，发电机的输出端与蓄电池电连接，工艺废气在流经扇叶时驱动扇叶绕发电机的输入端旋转，带动刮刀叶片相对于喷淋塔内壁发生运动；发电机将扇叶的旋转动能转化为电能；工艺废气经过扇叶后形成旋流。本发明可用于工艺废气处理。

技术研发人员：丁宇,王福清,陈佳明
受保护的技术使用者：上海协微环境科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23