蒸发源装置及蒸镀设备的制作方法

1.本技术涉及蒸镀技术领域，具体而言，本技术涉及一种蒸发源装置及蒸镀设备。


背景技术：

2.oled显示器件与传统液晶显示器件相比，具有低能耗、生产成本低、自发光、宽视角及响应速度快等优点，是当下显示器件研究热门领域之一，在手机、平板电脑等领域应用越来越广泛，并且由于其特有的柔性，其应用范围越来越广泛。
3.目前oled显示器件制备过程中，需要将蒸发材料蒸镀到基板上。在移动蒸发源装置时，蒸发源内的材料来回晃动，容易产生飞溅现象。


技术实现要素：

4.本技术针对现有方式的缺点，提出一种蒸发源装置及蒸镀设备，用以解决现有技术存在蒸发源内材料容易产生飞溅的技术问题。
5.第一个方面，本技术实施例提供了一种蒸发源装置，包括：蒸发源，包括底壁、周向侧壁以及顶壁，周向侧壁与底壁连接，顶壁与底壁相对设置，底壁、周向侧壁和顶壁共同围成蒸发腔；多个喷嘴，间隔设置于顶壁并与蒸发腔连通，喷嘴的出口位于顶壁的上方；分隔件，设置在蒸发腔内，以分隔蒸发腔；分隔件与底壁之间具有间隔，位于分隔件两侧的分隔腔通过间隔连通；分隔件在周向侧壁上的正投影与蒸发源移动的方向之间具有夹角，夹角不等于0
°
。
6.可选地，间隔与蒸发腔高度的比值大于或等于5％且小于或等于50％；和/或，分隔件的数量为至少两个，至少两个分隔件沿蒸发源移动的方向依次间隔布置。
7.可选地，分隔件设有多个第一通孔，多个第一通孔间隔布置，第一通孔贯穿分隔件，第一通孔与位于分隔件两侧的分隔腔均连通。
8.可选地，第一通孔在分隔件上的开孔率大于或等于5％且小于或等于40％。
9.可选地，蒸发源装置还包括导流件，导流件设置于周向侧壁并位于蒸发腔内，导流件具有弧面；分隔件的至少一端通过导流件与周向侧壁连接，周向侧壁的内壁面通过导流件的弧面平滑过渡至分隔件的侧面。
10.可选地，导流件设有卡槽，分隔件设有卡块，卡块与卡槽卡接配合，卡槽朝向顶壁的一端贯穿导流件，以与外部空间连通，卡槽朝向底壁的一端设有止挡部，以对卡块进行止挡。
11.可选地，蒸发源装置还包括整流板，整流板设置在蒸发腔内并位于分隔件的上方，整流板、周向侧壁和顶壁共同围成整流腔；整流板设有多个第二通孔，多个第二通孔间隔布置，第二通孔贯穿整流板，整流腔通过第二通孔与蒸发腔连通。
12.可选地，第一通孔在分隔件上的开孔率大于第二通孔在整流板上的开孔率。
13.可选地，分隔件的纵截面呈矩形；或者，分隔件的纵截面的上端在底壁上的正投影，覆盖分隔件的纵截面的下端在底壁上的正投影；其中，纵截面平行于蒸发源移动的方
向。
14.第二个方面，本技术实施例提供了一种蒸镀设备，包括：上述的蒸发源装置。
15.本技术实施例提供的技术方案带来的有益技术效果包括：
16.本技术实施例中，蒸发腔内设有分隔件，分隔件用于对蒸发腔进行分隔，以在分隔件的两侧分别形成分隔腔。分隔件与底壁之间具有间隔，位于分隔件两侧的分隔腔通过间隔连通，从而使各分隔腔均连通，方便蒸发材料在各分隔腔内流动。分隔件在周向侧壁上的正投影与蒸发源移动的方向之间具有夹角，且夹角不等于0
°
，蒸发源移动，导致蒸发腔内的蒸发材料随蒸发源沿蒸发源的移动方向晃动，当蒸发材料晃动的高度高于分隔件的下端时，蒸发材料会被分隔件阻挡，分隔件能够对蒸发材料的晃动进行阻挡、缓冲，减小蒸发材料晃动的幅度，从而有效避免材料飞溅问题。
17.本技术附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
18.本技术上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
19.图1为本技术实施例提供的一种蒸发源装置的分解结构示意图；
20.图2为本技术实施例提供的一种蒸发源装置的分隔件、导流件和底壁的结构示意图；
21.图3为本技术实施例提供的一种蒸发源装置的部分结构的俯视图；
22.图4为本技术实施例提供的一种蒸发源装置的侧视图；
23.图5为本技术实施例提供的一种蒸发源装置的蒸发腔内蒸发材料状态的示意图；
24.图6为本技术实施例提供的另一蒸发源装置的侧视图；
25.图7为本技术实施例提供的又一蒸发源装置的的侧视图；
26.图8为本技术实施例提供的另一种蒸发源装置的的部分结构的俯视图。
27.附图标记：
28.10-蒸发源；11-底壁；12-周向侧壁；13-顶壁；14-蒸发腔；15-分隔腔；16-第一台阶面；17-第二台阶面；20-喷嘴；30-分隔件；31-第一通孔；40-导流件；41-弧面；42-卡槽；50-整流板；51-第二通孔。
具体实施方式
29.下面结合本技术中的附图描述本技术的实施例。应理解，下面结合附图所阐述的实施方式，是用于解释本技术实施例的技术方案的示例性描述，对本技术实施例的技术方案不构成限制。
30.本技术领域技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本技术的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件，但不排除实现为本技术领域所支持其他特征、信息、数据、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组合等。这里使用的术语“和/或”指该术语所限定的项目中的至少一个，例如“a和/或b”可以实现为“a”，或者实现
为“b”，或者实现为“a和b”。
31.为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术实施方式作进一步地详细描述。
32.oled显示器件与传统液晶显示器件相比，具有低能耗、生产成本低、自发光、宽视角及响应速度快等优点，是当下显示器件研究热门领域之一，在手机、平板电脑等领域应用越来越广泛，并且由于其特有的柔性，其应用范围越来越广泛。
33.目前oled显示器件制备过程中，需要将蒸发材料蒸镀到基板上。有许多蒸发材料是熔融型材料，在蒸镀过程中，熔融型材料会先融化成液态，再蒸发变为气态，之后附着在基板上，以形成膜层，完成蒸镀。
34.在量产过程中，为了提高蒸镀效率，会布置至少两个蒸镀腔室，蒸发源装置在各蒸镀腔室之间来回切换，以对各蒸镀腔室内的基板进行蒸镀。
35.现有的蒸发源装置，在正常蒸镀情况下，蒸发源装置内的熔融型材料会先融化为液态，再蒸发为气态，以进行蒸镀。当切换蒸镀腔室时，坩埚会产生横向移动，例如向右移动，受横向加速度的影响，里面液态的材料会首先往运动的相反方向堆积，也就是向左堆积；切换蒸镀腔室的过程完成后，坩埚停止横向运动，里面的材料产生回流现象，材料向右流动，撞击在最右侧坩埚壁上面，发生材料飞溅现象。
36.并且，在蒸发源的蒸发腔内熔融型材料填充量较高的情况下，熔融型材料可能会附着在整流板上，导致在后续蒸镀过程中容易产生突沸或堵孔现象，影响蒸镀效果和效率。
37.即使未产生突沸或堵孔等严重问题，一旦有熔融型材料经过整流板穿透到上方，则会导致基板上对应位置熔融型材料过多，影响膜厚均匀性及蒸镀工艺稳定性。
38.本技术提供的蒸发源装置及蒸镀设备，旨在解决现有技术的如上技术问题。
39.下面以具体地实施例对本技术的技术方案以及本技术的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。需要指出的是，下述实施方式之间可以相互参考、借鉴或结合，对于不同实施方式中相同的术语、相似的特征以及相似的实施步骤等，不再重复描述。
40.本技术实施例提供了一种蒸发源装置，该蒸发源装置的结构示意图如图1所示，包括：蒸发源10、多个喷嘴20和分隔件30，蒸发源10包括底壁11、周向侧壁12以及顶壁13，周向侧壁12与底壁11连接，顶壁13与底壁11相对设置，底壁11、周向侧壁12和顶壁13共同围成蒸发腔14；多个喷嘴20间隔设置于顶壁13并与蒸发腔14连通，喷嘴20的出口位于顶壁13的上方；分隔件30设置在蒸发腔14内，以分隔蒸发腔14；分隔件30与底壁11之间具有间隔，位于分隔件30两侧的分隔腔15通过间隔连通；分隔件30在周向侧壁12上的正投影与蒸发源10移动的方向之间具有夹角，夹角不等于0
°
。
41.本技术实施例中，蒸发源10包括底壁11、周向侧壁12以及顶壁13，周向侧壁12与底壁11连接，顶壁13与底壁11相对设置，底壁11、周向侧壁12和顶壁13共同围成蒸发腔14，蒸发腔14用于容纳蒸发材料。多个喷嘴20间隔设置于顶壁13并与蒸发腔14连通，喷嘴20的出口位于顶壁13的上方。当对蒸发源10进行加热时，蒸发腔14内的蒸发材料受热气化蒸发，蒸发后的蒸发材料经喷嘴20的出口喷出，最终沉积在待蒸镀基板上，在待蒸镀基板上形成蒸镀图形。
42.本技术实施例中，蒸发腔14内设有分隔件30，分隔件30用于对蒸发腔14进行分隔，以在分隔件30的两侧分别形成分隔腔15。分隔件30与底壁11之间具有间隔，位于分隔件30
两侧的分隔腔15通过间隔连通，从而使各分隔腔15均连通，方便蒸发材料在各分隔腔15内流动。分隔件30在周向侧壁12上的正投影与蒸发源10移动的方向之间具有夹角，且夹角不等于0
°
，蒸发源10移动，导致蒸发腔14内的蒸发材料随蒸发源10沿蒸发源10的移动方向晃动，当蒸发材料晃动的高度高于分隔件30的下端时，蒸发材料会被分隔件30阻挡，分隔件30能够对蒸发材料的晃动进行阻挡、缓冲，减小蒸发材料晃动的幅度，从而有效避免材料飞溅问题。
43.可选地，如图1所示，本技术实施例中，分隔件30在顶壁13上的正投影的两侧均具有喷嘴20。即位于分隔件30两侧的分隔腔15均对应有喷嘴20，通过这种设置方式，可以使各分隔腔15内的压力保持均衡，避免压力分布不均问题。
44.可选地，本技术实施例中，蒸发源10为坩埚。底壁11和周向侧壁12连接形成坩埚本体，顶壁13形成坩埚上盖。
45.可选地，如图1所示，本技术实施例中，顶壁13为倒“t”型结构。通过这种设置方式，使顶壁13的结构简单，便于加工和组装。
46.顶壁13包括横向盖板和纵向凸起，多个喷嘴20沿蒸发源10移动方向依次间隔设置在顶壁13上，且喷嘴20贯穿横向盖板和纵向凸起，喷嘴20的入口位于横向盖板远离纵向凸起的一侧，喷嘴20的出口位于纵向凸起远离横向盖板的一侧，并凸出于纵向凸起。
47.可选地，本技术实施例中，横向盖板、纵向凸起和多个喷嘴20一体成型设置。
48.需要说明的是，本技术实施例中，顶壁13和喷嘴20的具体结构及设置方式与现有技术类似，这里不再赘述。
49.需要说明的是，本技术实施例中，蒸发源10的移动方向平行于图1的左右方向，即平行于蒸发源10长边的延伸方向。
50.可选地，本技术实施例中，间隔与蒸发腔14高度的比值大于或等于5％且小于或等于50％。
51.当间隔与蒸发腔14高度的比值小于5％时，会降低不同分隔腔15之间的连通性，从而降低位于不同分隔腔15内的材料之间的连通性。当间隔与蒸发腔14高度的比值大于50％时，会降低防止材料飞溅的效果。
52.本技术实施例中，间隔与蒸发腔14高度的比值大于或等于5％且小于或等于50％，通过这种设置方式，既可以有效防止材料飞溅，有可以保证不同分隔腔15之间的连通性，从而保证位于不同分隔腔15内的材料之间的连通性。
53.可选地，本技术实施例中，可以根据蒸发腔14的实际尺寸调整分隔件30与底壁11之间间隔的大小。
54.可选地，如图1、图3至图8所示，本技术实施例中，分隔件30的数量为至少两个，至少两个分隔件30沿蒸发源10移动的方向依次间隔布置。
55.本技术实施例中，通过设置至少两个分隔件30，且将至少两个分隔件30沿蒸发源10移动的方向依次间隔布置，能够将蒸发腔14分隔为相互连通的多个分隔腔15，由于分隔腔15的数量越多，位于各分隔腔15内的蒸发材料的晃动程度越小，因此，将蒸发腔14分隔为多个分隔腔15可以有效减弱蒸发材料的晃动程度；并且至少两个分隔件30均能够对蒸发材料进行阻挡和缓冲，蒸发材料会被至少两个分隔件30阻挡、反射；通过这种设置方式，能够有效避免材料飞溅现象。
56.可选地，如图2所示，本技术实施例中，分隔件30设有多个第一通孔31，多个第一通孔31间隔布置，第一通孔31贯穿分隔件30，第一通孔31与位于分隔件30两侧的分隔腔15均连通。
57.本技术实施例中，蒸发腔14内设有分隔件30，蒸发腔14内蒸发材料在来回流动过程中，如果位于分隔件30一侧的分隔腔15内的蒸发材料晃动的高度高于该分隔件30的下端，便会被该分隔件30阻挡，但撞击在该分隔件30上的液体蒸发材料会有一部分穿过第一通孔31流向位于该分隔件30另一侧的分隔腔15内，剩余的一部分液体蒸发材料则会被该分隔件30反射，且当蒸发材料填充量较高时，液体蒸发材料会被多个分隔件30多次反射，从而避免材料飞溅现象。
58.可选地，本技术实施例中，分隔件30形成为多孔板结构，可以防止在蒸发源10横向移动过程中产生的材料飞溅现象。
59.可选地，本技术实施例中，第一通孔31在分隔件30上的开孔率大于或等于5％且小于或等于40％。
60.如果第一通孔31在分隔件30上的开孔率小于5％，则撞击在分隔件30上并穿过第一通孔31的液体蒸发材料的量较少，大部分液体蒸发材料会被分隔件30反射，这样通过设置第一通孔31来提高分隔件30的缓冲作用的效果较小。如果第一通孔31在分隔件30上的开孔率大于40％，则分隔件30对液体蒸发材料的阻挡和反射效果较弱。
61.本技术实施例中，第一通孔31在分隔件30上的开孔率大于或等于5％且小于或等于40％，既能够起到有效的缓冲作用，又能够具有较好的阻挡和反射效果。
62.可选地，如图1至图3以及图8所示，本技术实施例的蒸发源装置，还包括导流件40，导流件40设置于周向侧壁12并位于蒸发腔14内，导流件40具有弧面41；分隔件30的至少一端通过导流件40与周向侧壁12连接，周向侧壁12的内壁面通过导流件40的弧面41平滑过渡至分隔件30的侧面。
63.本技术实施例中，导流件40用于对蒸发材料进行导向、汇集，分隔件30的至少一端通过导流件40与周向侧壁12连接，周向侧壁12的内壁面通过导流件40的弧面41平滑过渡至分隔件30的侧面，这样蒸发腔14内的蒸发材料能够自周向侧壁12的内壁面、经导流件40的弧面41平滑过渡至分隔件30的侧面，即可以将蒸发材料向分隔件30的中间汇集，通过导流件40的弧面41实现导向、汇集作用。
64.可选地，如图3所示，本技术实施例中，导流件40的一端与底壁11连接，导流件40远离分隔件30的一侧与周向侧壁12连接，弧面41沿导流件40的长边方向延伸，一部分弧面41对应于分隔件30和底壁11之间的间隔，另一部分弧面41对应于分隔件30，周向侧壁12的内壁面平滑过渡至导流件40的弧面41，蒸发腔14内蒸发材料在运动过程中自周向侧壁12的内壁面、经导流件40的弧面41向中间汇集。这样更多的材料会流向蒸发腔14中间的上半部分，也就是分隔件30所在的位置，分隔件30的多孔板结构设计，不仅具有阻挡和反射的效果，还可以起到减缓冲击的作用，可以使材料流向另一侧的分隔腔15。
65.可选地，如图1至图3、图8所示，本技术实施例中，分隔件30的两端均设有导流件40，通过导流件40可以将液态蒸发材料向中间汇集。可选地，导流件40为柱状结构，便于加工。可选地，导流件40、周向侧壁12和底壁11一体成型设置，可以降低加工难度。
66.可选地，本技术实施例中，分隔件30与导流件40可拆卸地连接。通过这种设置方
式，可以降低加工难度，便于装拆、更换、维护。
67.可选地，如图8所示，本技术实施例中，导流件40设有卡槽42，分隔件30设有卡块，卡块与卡槽42卡接配合，卡槽42朝向顶壁13的一端贯穿导流件40，以与外部空间连通，卡槽42朝向底壁11的一端设有止挡部，以对卡块进行止挡。
68.本技术实施例中，导流件40设有卡槽42，分隔件30设有卡块，卡块与卡槽42卡接配合，实现导流件40与分隔件30可拆卸地连接的目的，并且结构简单，便于组装，能够降低加工难度。卡槽42朝向顶壁13的一端贯穿导流件40、与外部空间连通，可以自卡槽42朝向顶壁13的一端将卡块插入卡槽42，便于卡块与卡槽42配合，卡槽42朝向底壁11的一端设有止挡部，止挡部用于对卡块进行止挡，防止卡块自卡槽42内脱出，保证卡块与卡槽42配合的稳定性。
69.可选地，如图8所示，本技术实施例中，在导流件40上开设凹槽以形成卡槽42，该凹槽朝向顶壁13的一端贯穿导流件40，以与外部空间连通，导流件40与凹槽朝向底壁11的一端对应的内壁形成该止挡部，用于对卡块进行止挡，防止卡块自该凹槽内脱出。
70.可选地，本技术实施例中，沿卡槽42长边延伸方向，卡槽42的长度与分隔件30的高度相同，可以将分隔件30稳定、可靠地安装在该卡槽42内，并且可以避免分隔件30凸出于导流件40，容易受到损坏的问题。
71.当然，在一种可选的实施方式中，还可以采用其他可拆卸的连接方式来连接分隔件30与导流件40，比如通过锁紧件连接等，其他任何可以实现可拆卸连接的方式，均可应用至本技术实施例中来连接分隔件30与导流件40。
72.可选地，如图1所示，本技术实施例中，底壁11为矩形结构，周向侧壁12为四边形框结构，周向侧壁12与底壁11的周向边缘连接。三个分隔件30沿底壁11长边延伸方向间隔布置在蒸发腔14内，将蒸发腔14分隔为依次相邻且连通的四个分隔腔15，沿底壁11宽边延伸方向，各分隔件30的两侧均设有导流件40，导流件40用于支撑分隔件30，并且能够起到对蒸发材料进行导流，使蒸发材料向蒸发腔14中间汇集的作用，汇集至分隔件30处的蒸发材料被分隔件30阻挡、反射和缓冲，能够避免材料飞溅问题。
73.可选地，如图1、图3和图8所示，本技术实施例中，呈四边形框结构的周向侧壁12的四个角部位置处均设有导流件40，周向侧壁12的内壁面与导流件40的弧面41平滑过渡，通过导流件40能够对蒸发材料进行导流，使蒸发材料向蒸发腔14中间汇集。
74.可选地，如图1、图4至图7所示，本技术实施例的蒸发源装置，还包括整流板50，整流板50设置在蒸发腔14内并位于分隔件30的上方，整流板50、周向侧壁12和顶壁13共同围成整流腔；整流板50设有多个第二通孔51，多个第二通孔51间隔布置，第二通孔51贯穿整流板50，整流腔通过第二通孔51与蒸发腔14连通。
75.本技术实施例中，整流板50设置在蒸发腔14内并位于分隔件30的上方，整流板50、周向侧壁12和顶壁13共同围成整流腔。整流腔通过整流板50的第二通孔51与蒸发腔14连通。蒸发腔14内气化的蒸发材料经第二通孔51进入整流腔，在整流腔内汇聚、混合，能够平衡气化的蒸发材料的温度和压力，使温度和压力均一，多个喷嘴20均设置在顶壁13上，整流腔内温度和压力均一的气化蒸发材料经多个喷嘴20的出口喷出，通过设置整流板50和整流腔，可以平衡气化蒸发材料的温度和压力，使经喷嘴20喷出的气化蒸发材料的温度和压力均一，保证蒸镀效果。
76.可选地，如图1所示，本技术实施例中，位于分隔件30两侧的分隔腔15均对应有第二通孔51，各分隔腔15内气化的蒸发材料经对应的第二通孔51进入整流腔，在整流腔内汇聚、混合。
77.本技术实施例中，通过设置分隔件30，可以防止熔融型材料在填充量较高的情况下，可能会产生材料附着在整流板上面的现象，保证工艺稳定性，防止突沸、堵口等情况发生。
78.可选地，如图1所示，本技术实施例中，周向侧壁12朝向顶壁13一侧的内壁面设有第一台阶面16，导流件40的上端面位于第一台阶面16下方，并与周向侧壁12的内壁面形成第二台阶面17，整流板50设置在第二台阶面17处，顶壁13设置在第一台阶面16处，整流板50、顶壁13以及位于第一台阶面16和第二台阶面17之间的部分周向侧壁共同围成整流腔。
79.可选地，本技术实施例中，第一通孔31在分隔件30上的开孔率大于第二通孔51在整流板50上的开孔率。
80.各分隔腔15上部通过第一通孔31连通，第一通孔31在分隔件30上的开孔率大于第二通孔51在整流板50上的开孔率，可以降低第一通孔31对各分隔腔15气体压力的影响，通过整流板50和整流腔来对气化蒸发材料压力进行调节。
81.可选地，本技术实施例中，整流板50的数量可以设置为一个，也可以设置为至少两个，整流板50设置的数量越多，对气化蒸发材料的温度和压力的平衡效果越好，温度和压力更均一。
82.在一种可选的实施方式中，如图4和图5所示，分隔件30的纵截面呈矩形，其中，纵截面平行于蒸发源10移动的方向。
83.本技术实施例中，分隔件30为平板结构。可选地，呈平板结构的分隔件30与蒸发源10移动的方向垂直，能够增大与蒸发材料的接触面积，提高阻挡、反射和缓冲效果。
84.在另一可选的实施方式中，如图6和图7所示，分隔件30的纵截面的上端在底壁11上的正投影，覆盖分隔件30的纵截面的下端在底壁11上的正投影，其中，纵截面平行于蒸发源10移动的方向。
85.本技术实施例中，分隔件30的纵截面呈上宽下窄的形状，这样设置能够提高防止材料飞溅的效果。
86.可选地，如图6所示，本技术实施例中，分隔件30的纵截面呈倒梯形，其中，纵截面平行于蒸发源10移动的方向。
87.可选地，如图7所示，本技术实施例中，分隔件30的纵截面呈倒梯形，且倒梯形的腰呈弧形，其中，纵截面平行于蒸发源10移动的方向。
88.可选地，如图7所示，本技术实施例中，倒梯形的腰呈圆弧形。
89.本技术实施例的蒸发源装置为一种适用于熔融型蒸发材料的蒸发源装置。本技术实施例的蒸发源装置可以应用至oled显示器件线形或面形蒸发装置。
90.基于同一发明构思，本技术实施例提供了一种蒸镀设备，包括：上述的蒸发源装置。
91.需要说明的是，由于本技术实施例的蒸镀设备包括本技术实施例的蒸发源装置，因此，本技术实施例的蒸镀设备也具有本技术实施例的蒸发源装置的上述有益效果，此处不再赘述。
92.应用本技术实施例，至少能够实现如下有益效果：
93.本技术实施例中，蒸发腔内设有分隔件，分隔件用于对蒸发腔进行分隔，以在分隔件的两侧分别形成分隔腔。分隔件与底壁之间具有间隔，位于分隔件两侧的分隔腔通过间隔连通，从而使各分隔腔均连通，方便蒸发材料在各分隔腔内流动。分隔件在周向侧壁上的正投影与蒸发源移动的方向之间具有夹角，且夹角不等于0
°
，蒸发源移动，导致蒸发腔内的蒸发材料随蒸发源沿蒸发源的移动方向晃动，当蒸发材料晃动的高度高于分隔件的下端时，蒸发材料会被分隔件阻挡，分隔件能够对蒸发材料的晃动进行阻挡、缓冲，减小蒸发材料晃动的幅度，从而有效避免材料飞溅问题。
94.本技术领域技术人员可以理解，本技术中已经讨论过的各种操作、方法、流程中的步骤、措施、方案可以被交替、更改、组合或删除。进一步地，具有本技术中已经讨论过的各种操作、方法、流程中的其他步骤、措施、方案也可以被交替、更改、重排、分解、组合或删除。进一步地，现有技术中的具有与本技术中公开的各种操作、方法、流程中的步骤、措施、方案也可以被交替、更改、重排、分解、组合或删除。
95.在本技术的描述中，词语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系，为基于附图所示的示例性的方向或位置关系，是为了便于描述或简化描述本技术的实施例，而不是指示或暗示所指的装置或部件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
96.术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
97.在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
98.在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
99.以上所述仅是本技术的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术的方案技术构思的前提下，采用基于本技术技术思想的其他类似实施手段，同样属于本技术实施例的保护范畴。

技术特征：
1.一种蒸发源装置，其特征在于，包括：蒸发源，包括底壁、周向侧壁以及顶壁，所述周向侧壁与所述底壁连接，所述顶壁与所述底壁相对设置，所述底壁、所述周向侧壁和所述顶壁共同围成蒸发腔；多个喷嘴，间隔设置于所述顶壁并与所述蒸发腔连通，所述喷嘴的出口位于所述顶壁的上方；分隔件，设置在所述蒸发腔内，以分隔所述蒸发腔；所述分隔件与所述底壁之间具有间隔，位于所述分隔件两侧的分隔腔通过所述间隔连通；所述分隔件在所述周向侧壁上的正投影与所述蒸发源移动的方向之间具有夹角，所述夹角不等于0
°
。2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述间隔与所述蒸发腔高度的比值大于或等于5％且小于或等于50％；和/或，所述分隔件的数量为至少两个，至少两个所述分隔件沿所述蒸发源移动的方向依次间隔布置。3.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述分隔件设有多个第一通孔，多个所述第一通孔间隔布置，所述第一通孔贯穿所述分隔件，所述第一通孔与位于所述分隔件两侧的分隔腔均连通。4.根据权利要求3所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一通孔在所述分隔件上的开孔率大于或等于5％且小于或等于40％。5.根据权利要求1至4中任一项所述的蒸发源装置，其特征在于，还包括导流件，所述导流件设置于所述周向侧壁并位于所述蒸发腔内，所述导流件具有弧面；所述分隔件的至少一端通过所述导流件与所述周向侧壁连接，所述周向侧壁的内壁面通过所述导流件的弧面平滑过渡至所述分隔件的侧面。6.根据权利要求5所述的蒸发源装置，其特征在于，所述导流件设有卡槽，所述分隔件设有卡块，所述卡块与所述卡槽卡接配合，所述卡槽朝向所述顶壁的一端贯穿所述导流件，以与外部空间连通，所述卡槽朝向所述底壁的一端设有止挡部，以对所述卡块进行止挡。7.根据权利要求3或4所述的蒸发源装置，其特征在于，还包括整流板，所述整流板设置在所述蒸发腔内并位于所述分隔件的上方，所述整流板、所述周向侧壁和所述顶壁共同围成整流腔；所述整流板设有多个第二通孔，多个所述第二通孔间隔布置，所述第二通孔贯穿所述整流板，所述整流腔通过所述第二通孔与所述蒸发腔连通。8.根据权利要求7所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一通孔在所述分隔件上的开孔率大于所述第二通孔在所述整流板上的开孔率。9.根据权利要求1至4中任一项所述的蒸发源装置，其特征在于，所述分隔件的纵截面呈矩形；或者，所述分隔件的纵截面的上端在所述底壁上的正投影，覆盖所述分隔件的纵截面的下端在所述底壁上的正投影；其中，所述纵截面平行于所述蒸发源移动的方向。10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：权利要求1至9中任一项所述的蒸发源装置。

技术总结
本申请实施例提供了一种蒸发源装置及蒸镀设备。该蒸发源装置包括：蒸发源，包括底壁、周向侧壁以及顶壁，周向侧壁与底壁连接，顶壁与底壁相对设置，底壁、周向侧壁和顶壁共同围成蒸发腔；多个喷嘴，间隔设置于顶壁并与蒸发腔连通，喷嘴的出口位于顶壁的上方；分隔件，设置在蒸发腔内，以分隔蒸发腔；分隔件与底壁之间具有间隔，位于分隔件两侧的分隔腔通过间隔连通；分隔件在周向侧壁上的正投影与蒸发源移动的方向之间具有夹角，夹角不等于0


技术研发人员：李彦松 刘华猛 白珊珊
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司
技术研发日：2022.09.26
技术公布日：2023/1/6