一种真空规管的制作方法
一种真空规管的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种真空规管，尤其涉及一种复合真空规管。
【背景技术】
[0002]在真空测量中，电阻规管和冷阴极电离规管都是目前使用广泛的真空测量规管。电阻规管规管由于其热丝经特殊工艺处理，具有压强测量范围宽、性能稳定、一致性好、反映时间快、寿命长等优点;冷阴极电离规管也是目前应用广泛的一种高真空电离规管，在器件制造、真空镀膜以及真空冶金等领域作中使用，但是，冷阴极电离规管其测量范围在低真空时的测量范围有限，随着真空测试应用越来越广泛，将电阻规管和冷阴极电离规管的进行复合的真空规管也是亟待解决的问题。
【发明内容】
[0003]本发明提供一种真空规管，所述真空规管为电阻规管和冷阴极电离规管的复合真空规管，能够拓展冷阴极电离规管的低真空的测量范围，同时满足高低真空测量范围测试的需要，本发明所述的技术方案是:
一种真空规管，所述真空规管包括电阻规管、冷阴极电离规管、置于真空规管外侧的永磁组件、用以连接真空测量设备与真空规管的高压插座，所述真空规管还包括法兰组件、阳极组件，所述阳极组件与法兰组件固定连接;所述法兰组件包括刀口法兰和焊接于刀口法兰上的管体，所述管体设有安装电阻规管和阳极组件的腔室，所述刀口法兰设有焊料槽，所述管体置于刀口法兰的焊料槽中并与刀口法兰焊接固定;所述阳极组件包括压板、已金属化的陶瓷件和焊接于陶瓷组件上的阳极杆，所述压板上设有用以焊接陶瓷组件的焊接槽和用以安装电阻规管、陶瓷组件的腔室。
[0004]所述的一种真空规管，所述阳极组件和法兰组件的连接处设有焊接槽，阳极组件和法兰组件通过焊接固定连接。
[0005]所述的一种真空规管，所述压板上的安装电阻规管的腔室为通孔以及位于通孔上的台阶。
[0006]所述的一种真空规管，所述压板还设有用以安装高压插座的安装孔。
[0007]所述的一种真空规管，所述刀口法兰为CF35法兰。
[0008]采用本发明的技术方案提供的一种新的结构的电阻复合真空规管，其测量范围可以达到105Pa-10—7Pa，拓展了冷阴极电离规管的测量上限。
【附图说明】
[0009]图1本发明实施例的真空规管结构图；
图2本发明实施例的法兰主视图；
图3本发明实施例的法兰俯视图；
图4本发明实施例的管体剖视图； 图5本发明实施例的管体俯视图；
图6本发明实施例法兰组件的剖视图；
图7本发明实施例的阳极组件；
图8本发明实施例的压板主视图；
图9本发明实施例的压板俯视图
图中1-电阻规管、2-永磁组件、3—高压插座、4 一法兰组件、5—阳极组件、6—刀口法兰、7—管体、8—管体安装电阻规管腔室、9 一焊料槽、10—压板、11 一已金属化的陶瓷件、12—阳极杆、13—压板上安装电阻规管的腔室、14 一压板上安装陶瓷组件的腔室、15—管体上安装阳极组件的腔室。
具体实施例实施例
[0010]本发明实施例所述的一种真空规管，包括电阻规管、冷阴极电离规管、置于真空规管外侧的永磁组件、用以连接真空测量设备与真空规管的高压插座，所述真空规管还包括法兰组件、阳极组件，所述阳极组件和法兰组件的连接处设有焊接槽，阳极组件和法兰组件通过焊接固定连接;所述法兰组件包括CF35刀口法兰(也可选用其他接口的法兰)和焊接于CF35刀口法兰上的管体，所述管体设有安装电阻规管和阳极组件的腔室，所述CF刀口法兰设有焊料槽，所述管体置于CF35刀口法兰的焊料槽中并与CF35刀口法兰焊接固定;所述阳极组件包括压板、已金属化的陶瓷件和焊接于陶瓷组件上的阳极杆，所述压板上设有用以焊接陶瓷组件的焊接槽和用以安装电阻规管、陶瓷组件的腔室，所述压板上的安装电阻规管的腔室为Φ5的通孔以及位于通孔上的7X2的台阶，所述通孔的台阶用以放置焊料，能将电阻规管焊接于压板上，所述压板还设有用以安装高压插座的螺钉孔。
【主权项】
1.一种真空规管，所述真空规管包括电阻规管、冷阴极电离规管、置于真空规管外侧的永磁组件、用以连接真空测量设备与真空规管的高压插座，其特征在于，所述真空规管还包括法兰组件、阳极组件，所述阳极组件与法兰组件固定连接;所述法兰组件包括刀口法兰和焊接于刀口法兰上的管体，所述管体设有安装电阻规管和阳极组件的腔室，所述刀口法兰设有焊料槽，所述管体置于刀口法兰的焊料槽中并与刀口法兰焊接固定;所述阳极组件包括压板、已金属化的陶瓷件和焊接于陶瓷组件上的阳极杆，所述压板上设有用以焊接陶瓷组件的焊接槽和用以安装电阻规管、陶瓷组件的腔室。2.如权利要求1所述的一种真空规管，其特征在于，所述阳极组件和法兰组件的连接处设有焊接槽，阳极组件和法兰组件通过焊接固定连接。3.如权利要求1或2所述的一种真空规管，其特征在于，所述压板上的安装电阻规管的腔室包括通孔以及位于通孔上的台阶。4.如权利要求3所述的一种真空规管，其特征在于，所述压板还设有用以安装高压插座的螺钉孔。5.如权利要求4所述的一种真空规管，其特征在于，所述刀口法兰为CF35法兰。
【专利摘要】本发明公开了一种真空规管，所述真空规管包括电阻规管、冷阴极电离规管、置于真空规管外侧的永磁组件、用以连接真空测量设备与真空规管的高压插座，所述真空规管还包括法兰组件、阳极组件；所述法兰组件包括刀口法兰和焊接于刀口法兰上的管体，所述管体设有安装电阻规管和阳极组件的腔室；所述阳极组件包括压板、已金属化的陶瓷件和焊接于陶瓷组件上的阳极杆，所述压板上设有用以焊接陶瓷组件的焊接槽和用以安装电阻规管、陶瓷组件的腔室；采用所述真空规管其测量范围可以达到105Pa-10-7Pa,拓展了冷阴极电离规管的测量上限。
【IPC分类】H01J41/02, H01J41/06
【公开号】CN105489465
【申请号】CN201610022654
【发明人】陈旗
【申请人】成都国光电气股份有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2016年1月14日
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种真空规管，尤其涉及一种复合真空规管。
【背景技术】
[0002]在真空测量中，电阻规管和冷阴极电离规管都是目前使用广泛的真空测量规管。电阻规管规管由于其热丝经特殊工艺处理，具有压强测量范围宽、性能稳定、一致性好、反映时间快、寿命长等优点;冷阴极电离规管也是目前应用广泛的一种高真空电离规管，在器件制造、真空镀膜以及真空冶金等领域作中使用，但是，冷阴极电离规管其测量范围在低真空时的测量范围有限，随着真空测试应用越来越广泛，将电阻规管和冷阴极电离规管的进行复合的真空规管也是亟待解决的问题。
【发明内容】
[0003]本发明提供一种真空规管，所述真空规管为电阻规管和冷阴极电离规管的复合真空规管，能够拓展冷阴极电离规管的低真空的测量范围，同时满足高低真空测量范围测试的需要，本发明所述的技术方案是:
一种真空规管，所述真空规管包括电阻规管、冷阴极电离规管、置于真空规管外侧的永磁组件、用以连接真空测量设备与真空规管的高压插座，所述真空规管还包括法兰组件、阳极组件，所述阳极组件与法兰组件固定连接;所述法兰组件包括刀口法兰和焊接于刀口法兰上的管体，所述管体设有安装电阻规管和阳极组件的腔室，所述刀口法兰设有焊料槽，所述管体置于刀口法兰的焊料槽中并与刀口法兰焊接固定;所述阳极组件包括压板、已金属化的陶瓷件和焊接于陶瓷组件上的阳极杆，所述压板上设有用以焊接陶瓷组件的焊接槽和用以安装电阻规管、陶瓷组件的腔室。
[0004]所述的一种真空规管，所述阳极组件和法兰组件的连接处设有焊接槽，阳极组件和法兰组件通过焊接固定连接。
[0005]所述的一种真空规管，所述压板上的安装电阻规管的腔室为通孔以及位于通孔上的台阶。
[0006]所述的一种真空规管，所述压板还设有用以安装高压插座的安装孔。
[0007]所述的一种真空规管，所述刀口法兰为CF35法兰。
[0008]采用本发明的技术方案提供的一种新的结构的电阻复合真空规管，其测量范围可以达到105Pa-10—7Pa，拓展了冷阴极电离规管的测量上限。
【附图说明】
[0009]图1本发明实施例的真空规管结构图；
图2本发明实施例的法兰主视图；
图3本发明实施例的法兰俯视图；
图4本发明实施例的管体剖视图； 图5本发明实施例的管体俯视图；
图6本发明实施例法兰组件的剖视图；
图7本发明实施例的阳极组件；
图8本发明实施例的压板主视图；
图9本发明实施例的压板俯视图
图中1-电阻规管、2-永磁组件、3—高压插座、4 一法兰组件、5—阳极组件、6—刀口法兰、7—管体、8—管体安装电阻规管腔室、9 一焊料槽、10—压板、11 一已金属化的陶瓷件、12—阳极杆、13—压板上安装电阻规管的腔室、14 一压板上安装陶瓷组件的腔室、15—管体上安装阳极组件的腔室。
具体实施例实施例
[0010]本发明实施例所述的一种真空规管，包括电阻规管、冷阴极电离规管、置于真空规管外侧的永磁组件、用以连接真空测量设备与真空规管的高压插座，所述真空规管还包括法兰组件、阳极组件，所述阳极组件和法兰组件的连接处设有焊接槽，阳极组件和法兰组件通过焊接固定连接;所述法兰组件包括CF35刀口法兰(也可选用其他接口的法兰)和焊接于CF35刀口法兰上的管体，所述管体设有安装电阻规管和阳极组件的腔室，所述CF刀口法兰设有焊料槽，所述管体置于CF35刀口法兰的焊料槽中并与CF35刀口法兰焊接固定;所述阳极组件包括压板、已金属化的陶瓷件和焊接于陶瓷组件上的阳极杆，所述压板上设有用以焊接陶瓷组件的焊接槽和用以安装电阻规管、陶瓷组件的腔室，所述压板上的安装电阻规管的腔室为Φ5的通孔以及位于通孔上的7X2的台阶，所述通孔的台阶用以放置焊料，能将电阻规管焊接于压板上，所述压板还设有用以安装高压插座的螺钉孔。
【主权项】
1.一种真空规管，所述真空规管包括电阻规管、冷阴极电离规管、置于真空规管外侧的永磁组件、用以连接真空测量设备与真空规管的高压插座，其特征在于，所述真空规管还包括法兰组件、阳极组件，所述阳极组件与法兰组件固定连接;所述法兰组件包括刀口法兰和焊接于刀口法兰上的管体，所述管体设有安装电阻规管和阳极组件的腔室，所述刀口法兰设有焊料槽，所述管体置于刀口法兰的焊料槽中并与刀口法兰焊接固定;所述阳极组件包括压板、已金属化的陶瓷件和焊接于陶瓷组件上的阳极杆，所述压板上设有用以焊接陶瓷组件的焊接槽和用以安装电阻规管、陶瓷组件的腔室。2.如权利要求1所述的一种真空规管，其特征在于，所述阳极组件和法兰组件的连接处设有焊接槽，阳极组件和法兰组件通过焊接固定连接。3.如权利要求1或2所述的一种真空规管，其特征在于，所述压板上的安装电阻规管的腔室包括通孔以及位于通孔上的台阶。4.如权利要求3所述的一种真空规管，其特征在于，所述压板还设有用以安装高压插座的螺钉孔。5.如权利要求4所述的一种真空规管，其特征在于，所述刀口法兰为CF35法兰。
【专利摘要】本发明公开了一种真空规管，所述真空规管包括电阻规管、冷阴极电离规管、置于真空规管外侧的永磁组件、用以连接真空测量设备与真空规管的高压插座，所述真空规管还包括法兰组件、阳极组件；所述法兰组件包括刀口法兰和焊接于刀口法兰上的管体，所述管体设有安装电阻规管和阳极组件的腔室；所述阳极组件包括压板、已金属化的陶瓷件和焊接于陶瓷组件上的阳极杆，所述压板上设有用以焊接陶瓷组件的焊接槽和用以安装电阻规管、陶瓷组件的腔室；采用所述真空规管其测量范围可以达到105Pa-10-7Pa,拓展了冷阴极电离规管的测量上限。
【IPC分类】H01J41/02, H01J41/06
【公开号】CN105489465
【申请号】CN201610022654
【发明人】陈旗
【申请人】成都国光电气股份有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2016年1月14日
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