工件内孔表面粗糙度测量装置的制作方法
专利名称：工件内孔表面粗糙度测量装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种工件内孔表面粗糙度测量装置。
背景技术：
当前，工业生产对具有内孔的工件(如半导体机台中使用的管件及筒件)的内孔 表面粗糙度要求越来越高。因此，工件使用前通常需经过工件内孔表面粗糙度测量，以判断 工件是否符合使用要求。目前，工件内孔表面粗糙度的测量大部分需通过大型精密测量机 台完成(如光学检测设备等)，成本较高。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种成本低的工件内孔表面粗糙度测量装置。一种工件内孔表面粗糙度测量装置，其包括一个基座、至少三个固定板、至少三组 弹性元件、一个转轴及一个测微表。所述基座包括一个承载面及至少一个设立于所述承载 面上的侧壁。所述至少一个侧壁界定一个具有一个固定中心轴的内部空间。所述至少三个 固定板朝向所述固定中心轴放置于所述内部空间内。所述至少三组弹性元件用于连接对应 的一个固定板至所述至少一个侧壁上。所述至少三组弹性元件的作用力朝向所述固定中心 轴。所述转轴沿所述中心轴设置。所述测微表包括一个探头及一个读书器。所述探头固定 于所述转轴，用于感测工件内孔表面的粗糙度并产生对应的电信号。所述读数器与所述探 头电性连接，用于接收并处理所述电信号、计算并显示对应的粗糙度。所述工件内孔表面粗糙度测量装置采用简单的机构实现工件内孔表面粗糙度的 测量，成本低。
图1为本发明较佳实施方式的工件内孔表面粗糙度测量装置的立体示意图。
具体实施例方式请参阅图1，本发明较佳实施方式的工件内孔表面粗糙度测量装置100包括一个 基座10、三个固定板20、三组弹簧30、一个转轴40及一个测微表50。基座10包括一个圆盘状底板12及一个圆筒状侧壁14。圆盘状底板12包括一个 承载面122。圆筒状侧壁14的外径与圆盘状底板12的直径基本相同。圆筒状侧壁14对齐 圆盘状底板12的边缘垂直设立于承载面122上。如此，圆盘状底板12与圆筒状侧壁14共 同界定一个圆筒状内部空间142。圆筒状内部空间142具有一个固定中心轴144，即圆筒状 侧壁14的中心轴。本实施方式中，圆盘状底板12与圆筒状侧壁14 一体成型。可以理解，圆盘状底板12并不限于本实施方式。在其他实施方式中，可采用其他 具有承载面122的底板替换圆盘状底板12，如，方形底板。侧壁14也不限于本实施方式。 在其他实施方式中，可采用其他可以界定一个具有一个固定中心轴144的内部空间142的侧壁。如，多个不连续的弧形侧壁。圆盘状底板12与圆筒状侧壁14也可以分离成型，再通 过胶合等方式组装成基座10。三个固定板20形状基本相同，为长方形板。每个固定板20包括一个固定面22。 固定面22上形成有咬纹222。三个固定板20放置于内部空间142内(如可直立放置于承 载面122上)。三个固定面22朝向固定中心轴144。可以理解，固定板20的形状并不限于本实施方式，可为其他形状，如圆盘状。在其 他实施方式中，还可采用具有平滑的固定面(即没有咬纹222)的固定板。三组弹簧30分别用于连接一个固定板20至圆筒状侧壁14。本实施方式中，固定 板20由弹簧30悬挂于内部空间142内。具体地，每组弹簧30包括有一个弹簧30。每个 弹簧30基本沿圆筒状侧壁14的直径方向连接固定板20与圆筒状侧壁14，且(1)当工件 200具有圆形外轮廓时，一个弹簧30的自然长度、一个固定板20的厚度及工件200的外径 之和大于圆筒状侧壁14的内半径；及(2)当工件200具有非圆外轮廓时，一个弹簧30的自 然长度、一个固定板20的厚度及工件200外轮廓的最长尺寸的一半之和大于圆筒状侧壁14 的内半径。如此，当工件200放置于固定板20之间时，弹簧30将被压缩，并产生朝向固定 中心144的作用力，以约束固定板20固定工件200。优选地，三组弹簧30及三个固定板20等角分布于圆筒状侧壁14的内圆周上，如 此，更有利于工件200的受力平衡与固定。可以理解，固定板20的个数与弹簧30的组数不 限于本实施方式。在其他实施方式中，视定位强度的需求，可以采用更多个的固定板20及 更多组的弹簧30。可以理解，弹簧30也不限于本实施方式。在其他实施方式中，可采用其 他的弹性元件替换弹簧30，如，弹片。转轴40可以为马达的转子，其沿固定中心轴144设置。本实施方式中，转轴自圆 盘状底板12下面转动伸入内部空间142并沿固定中心轴144设置。所述测微表50附设于转轴40上，其包括一个读数器52，一个连接板54及一个探 头56。连接板54固定于转轴40上，读数器52和探头56固定于连接板54上。探头56用 于连续感测工件200的内孔表面粗糙度并产生对应的电信号。读数器52与探头56电性连 接，用于接收并处理探头56产生的电信号、计算并显示工件200的内孔表面的粗糙度。优 选地，转轴40可以沿固定中心轴上下移动。如此，探头56可以感测整个工件200内孔的粗 糙度。可以理解，测微表50的设置并不限于本实施方式。如在其实施方式中，探头56可 通过其他手段固定于转轴40上，如捆绑或胶合，而读数器52可与转轴40分离设置，如此可 省去连接板54。利用工件内孔表面粗糙度测量装置100测量工件200内孔表面的粗糙度时，首先 需克服三组弹簧30的弹力，撑开三个固定板20，将工件200放置于内部空间142内但套设 于转轴40及测微表50外。释放三个固定板20，使其在三组弹簧30的弹力作用下约束工件 200，将工件200固定于承载面122上，同时，探头56与工件内孔表面接触。启动转轴40，使 其带动探头56转动，感测工件内孔表面的粗糙度，感测完毕后，读数器52计算并显示工件 200内孔表面的粗糙度。工件内孔表面粗糙度测量装置100采用简单的机构实现工件内孔表面粗糙度的 测量，成本低。
本技术领域的普通技术人员应当认识到，以上的实施方式仅是用来说明本发明， 而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围之内，对以上实施例所作的 适当改变和变化都落在本发明要求保护的范围之内。
权利要求
一种工件内孔表面粗糙度测量装置，其特征在于包括一个基座，其包括一个承载面及至少一个设立于所述承载面上的侧壁，所述至少一个侧壁界定一个具有一个固定中心轴的内部空间；至少三个朝向所述固定中心轴放置于所述内部空间内的固定板；至少三组用于连接对应的一个固定板至所述至少一个侧壁上的弹性元件，所述至少三组弹性元件的作用力朝向所述固定中心轴；一个沿所述中心轴设置的转轴；及一个测微表，其包括一个固定于所述转轴的探头及一个与所述探头电性连接的读数器，所述探头用于感测工件内孔表面的粗糙度并产生对应的电信号，所述读数器用于接收并处理所述电信号、计算并显示对应的粗糙度。
2.如权利要求1所述的工件内孔表面粗糙度测量装置，其特征在于，所述至少一个侧 壁为一个圆筒状侧壁。
3.如权利要求1所述的工件内孔表面粗糙度测量装置，其特征在于，所述基座还包括 一底板，所述底板包括所述承载面。
4.如权利要求3所述的工件内孔表面粗糙度测量装置，其特征在于，所述底板与所述 至少一个侧壁一体成形。
5.如权利要求1所述的工件内孔表面粗糙度测量装置，其特征在于，所述固定板包括 一个朝向所述固定中心轴的固定面，所述固定面形成有咬纹。
6.如权利要求1所述的工件内孔表面粗糙度测量装置，其特征在于，所述弹性元件为 弹簧或弹片。
7.如权利要求1所述的工件内孔表面粗糙度测量装置，其特征在于，每组弹性元件包 括一个弹簧。
8.如权利要求1所述的工件内孔表面粗糙度测量装置，其特征在于，所述至少三组弹 性元件及所述至少三个固定板等角分布于所述侧壁的内圆周上。
9.如权利要求1所述的工件内孔表面粗糙度测量装置，其特征在于，所述测微表还包 括一个连接板，所述连接板固定于所述转轴上，所述探头及所述读数表固定于所述连接板 上。
10.如权利要求1所述的工件内表面粗糙度测量装置，其特征在于，所述探头通过捆绑 或胶合方式固定于所述转轴上。
全文摘要
本发明提供一种工件内孔表面粗糙度测量装置，其包括一个基座、三个固定板、三组弹性元件、一个转轴及一个测微表。基座包括一个承载面及一个设立于承载面上的侧壁。侧壁界定一个具有一个固定中心轴的内部空间。三个固定板朝向固定中心轴放置于内部空间内。三组弹性元件用于连接对应的一个固定板至侧壁上，其作用力朝向固定中心轴。转轴沿中心轴设置。测微表包括一个探头及一个读数器。探头固定于转轴，用于感测工件内孔表面的粗糙度并产生对应的电信号。读数器与探头电性连接，用于接收并处理电信号、计算并显示对应的粗糙度。本发明的工件内孔表面粗糙度测量装置采用简单的机构实现工件内孔表面粗糙度的测量，成本低。
文档编号G01B7/34GK101929835SQ20091030348
公开日2010年12月29日 申请日期2009年6月22日 优先权日2009年6月22日
发明者王子威 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
技术领域：
本发明涉及一种工件内孔表面粗糙度测量装置。
背景技术：
当前，工业生产对具有内孔的工件(如半导体机台中使用的管件及筒件)的内孔 表面粗糙度要求越来越高。因此，工件使用前通常需经过工件内孔表面粗糙度测量，以判断 工件是否符合使用要求。目前，工件内孔表面粗糙度的测量大部分需通过大型精密测量机 台完成(如光学检测设备等)，成本较高。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种成本低的工件内孔表面粗糙度测量装置。一种工件内孔表面粗糙度测量装置，其包括一个基座、至少三个固定板、至少三组 弹性元件、一个转轴及一个测微表。所述基座包括一个承载面及至少一个设立于所述承载 面上的侧壁。所述至少一个侧壁界定一个具有一个固定中心轴的内部空间。所述至少三个 固定板朝向所述固定中心轴放置于所述内部空间内。所述至少三组弹性元件用于连接对应 的一个固定板至所述至少一个侧壁上。所述至少三组弹性元件的作用力朝向所述固定中心 轴。所述转轴沿所述中心轴设置。所述测微表包括一个探头及一个读书器。所述探头固定 于所述转轴，用于感测工件内孔表面的粗糙度并产生对应的电信号。所述读数器与所述探 头电性连接，用于接收并处理所述电信号、计算并显示对应的粗糙度。所述工件内孔表面粗糙度测量装置采用简单的机构实现工件内孔表面粗糙度的 测量，成本低。
图1为本发明较佳实施方式的工件内孔表面粗糙度测量装置的立体示意图。
具体实施例方式请参阅图1，本发明较佳实施方式的工件内孔表面粗糙度测量装置100包括一个 基座10、三个固定板20、三组弹簧30、一个转轴40及一个测微表50。基座10包括一个圆盘状底板12及一个圆筒状侧壁14。圆盘状底板12包括一个 承载面122。圆筒状侧壁14的外径与圆盘状底板12的直径基本相同。圆筒状侧壁14对齐 圆盘状底板12的边缘垂直设立于承载面122上。如此，圆盘状底板12与圆筒状侧壁14共 同界定一个圆筒状内部空间142。圆筒状内部空间142具有一个固定中心轴144，即圆筒状 侧壁14的中心轴。本实施方式中，圆盘状底板12与圆筒状侧壁14 一体成型。可以理解，圆盘状底板12并不限于本实施方式。在其他实施方式中，可采用其他 具有承载面122的底板替换圆盘状底板12，如，方形底板。侧壁14也不限于本实施方式。 在其他实施方式中，可采用其他可以界定一个具有一个固定中心轴144的内部空间142的侧壁。如，多个不连续的弧形侧壁。圆盘状底板12与圆筒状侧壁14也可以分离成型，再通 过胶合等方式组装成基座10。三个固定板20形状基本相同，为长方形板。每个固定板20包括一个固定面22。 固定面22上形成有咬纹222。三个固定板20放置于内部空间142内(如可直立放置于承 载面122上)。三个固定面22朝向固定中心轴144。可以理解，固定板20的形状并不限于本实施方式，可为其他形状，如圆盘状。在其 他实施方式中，还可采用具有平滑的固定面(即没有咬纹222)的固定板。三组弹簧30分别用于连接一个固定板20至圆筒状侧壁14。本实施方式中，固定 板20由弹簧30悬挂于内部空间142内。具体地，每组弹簧30包括有一个弹簧30。每个 弹簧30基本沿圆筒状侧壁14的直径方向连接固定板20与圆筒状侧壁14，且(1)当工件 200具有圆形外轮廓时，一个弹簧30的自然长度、一个固定板20的厚度及工件200的外径 之和大于圆筒状侧壁14的内半径；及(2)当工件200具有非圆外轮廓时，一个弹簧30的自 然长度、一个固定板20的厚度及工件200外轮廓的最长尺寸的一半之和大于圆筒状侧壁14 的内半径。如此，当工件200放置于固定板20之间时，弹簧30将被压缩，并产生朝向固定 中心144的作用力，以约束固定板20固定工件200。优选地，三组弹簧30及三个固定板20等角分布于圆筒状侧壁14的内圆周上，如 此，更有利于工件200的受力平衡与固定。可以理解，固定板20的个数与弹簧30的组数不 限于本实施方式。在其他实施方式中，视定位强度的需求，可以采用更多个的固定板20及 更多组的弹簧30。可以理解，弹簧30也不限于本实施方式。在其他实施方式中，可采用其 他的弹性元件替换弹簧30，如，弹片。转轴40可以为马达的转子，其沿固定中心轴144设置。本实施方式中，转轴自圆 盘状底板12下面转动伸入内部空间142并沿固定中心轴144设置。所述测微表50附设于转轴40上，其包括一个读数器52，一个连接板54及一个探 头56。连接板54固定于转轴40上，读数器52和探头56固定于连接板54上。探头56用 于连续感测工件200的内孔表面粗糙度并产生对应的电信号。读数器52与探头56电性连 接，用于接收并处理探头56产生的电信号、计算并显示工件200的内孔表面的粗糙度。优 选地，转轴40可以沿固定中心轴上下移动。如此，探头56可以感测整个工件200内孔的粗 糙度。可以理解，测微表50的设置并不限于本实施方式。如在其实施方式中，探头56可 通过其他手段固定于转轴40上，如捆绑或胶合，而读数器52可与转轴40分离设置，如此可 省去连接板54。利用工件内孔表面粗糙度测量装置100测量工件200内孔表面的粗糙度时，首先 需克服三组弹簧30的弹力，撑开三个固定板20，将工件200放置于内部空间142内但套设 于转轴40及测微表50外。释放三个固定板20，使其在三组弹簧30的弹力作用下约束工件 200，将工件200固定于承载面122上，同时，探头56与工件内孔表面接触。启动转轴40，使 其带动探头56转动，感测工件内孔表面的粗糙度，感测完毕后，读数器52计算并显示工件 200内孔表面的粗糙度。工件内孔表面粗糙度测量装置100采用简单的机构实现工件内孔表面粗糙度的 测量，成本低。
本技术领域的普通技术人员应当认识到，以上的实施方式仅是用来说明本发明， 而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围之内，对以上实施例所作的 适当改变和变化都落在本发明要求保护的范围之内。
权利要求
一种工件内孔表面粗糙度测量装置，其特征在于包括一个基座，其包括一个承载面及至少一个设立于所述承载面上的侧壁，所述至少一个侧壁界定一个具有一个固定中心轴的内部空间；至少三个朝向所述固定中心轴放置于所述内部空间内的固定板；至少三组用于连接对应的一个固定板至所述至少一个侧壁上的弹性元件，所述至少三组弹性元件的作用力朝向所述固定中心轴；一个沿所述中心轴设置的转轴；及一个测微表，其包括一个固定于所述转轴的探头及一个与所述探头电性连接的读数器，所述探头用于感测工件内孔表面的粗糙度并产生对应的电信号，所述读数器用于接收并处理所述电信号、计算并显示对应的粗糙度。
2.如权利要求1所述的工件内孔表面粗糙度测量装置，其特征在于，所述至少一个侧 壁为一个圆筒状侧壁。
3.如权利要求1所述的工件内孔表面粗糙度测量装置，其特征在于，所述基座还包括 一底板，所述底板包括所述承载面。
4.如权利要求3所述的工件内孔表面粗糙度测量装置，其特征在于，所述底板与所述 至少一个侧壁一体成形。
5.如权利要求1所述的工件内孔表面粗糙度测量装置，其特征在于，所述固定板包括 一个朝向所述固定中心轴的固定面，所述固定面形成有咬纹。
6.如权利要求1所述的工件内孔表面粗糙度测量装置，其特征在于，所述弹性元件为 弹簧或弹片。
7.如权利要求1所述的工件内孔表面粗糙度测量装置，其特征在于，每组弹性元件包 括一个弹簧。
8.如权利要求1所述的工件内孔表面粗糙度测量装置，其特征在于，所述至少三组弹 性元件及所述至少三个固定板等角分布于所述侧壁的内圆周上。
9.如权利要求1所述的工件内孔表面粗糙度测量装置，其特征在于，所述测微表还包 括一个连接板，所述连接板固定于所述转轴上，所述探头及所述读数表固定于所述连接板 上。
10.如权利要求1所述的工件内表面粗糙度测量装置，其特征在于，所述探头通过捆绑 或胶合方式固定于所述转轴上。
全文摘要
本发明提供一种工件内孔表面粗糙度测量装置，其包括一个基座、三个固定板、三组弹性元件、一个转轴及一个测微表。基座包括一个承载面及一个设立于承载面上的侧壁。侧壁界定一个具有一个固定中心轴的内部空间。三个固定板朝向固定中心轴放置于内部空间内。三组弹性元件用于连接对应的一个固定板至侧壁上，其作用力朝向固定中心轴。转轴沿中心轴设置。测微表包括一个探头及一个读数器。探头固定于转轴，用于感测工件内孔表面的粗糙度并产生对应的电信号。读数器与探头电性连接，用于接收并处理电信号、计算并显示对应的粗糙度。本发明的工件内孔表面粗糙度测量装置采用简单的机构实现工件内孔表面粗糙度的测量，成本低。
文档编号G01B7/34GK101929835SQ20091030348
公开日2010年12月29日 申请日期2009年6月22日 优先权日2009年6月22日
发明者王子威 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
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